全てのカテゴリ

閲覧履歴

2周波独立印加方式 アッシング装置-ジャパンクリエイト株式会社
💻 電子・電気機器業界用 🧪 化学業界用

ジャパンクリエイト株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

185.3時間

全型番で同じ値の指標

基板サイズ

最大φ8インチ

プラズマソース

CCP型

真空排気

低真空プロセス:MBP+DP 高真空プロセス:TMP+DP

圧力制御

APC制御

プロセスガス

F系、Cl2、Ar、O2、他

制御操作

制御:PLC 操作:タッチパネルまたはPC

データロギング

外部メモリまたはPC

基板搬送

大気または真空搬送ロボット

この製品について

■概要

最大8インチ基板を全自動で連続処理することが可能な量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。

■特徴

・RIEモードとDPモードの切り替えが可能 ・特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ・省フットプリント ・2周波独立印加方式

■用途

・半導体 ・MEMS ・電子部品

  • 型番

    アッシング装置

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年12月12日にレビュー済み

顧客対応への満足度

回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。

初回対応までの時間への満足度

4.22時間


この製品を共有する


430人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前


返答率: 100.0%


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

2周波独立印加方式 アッシング装置 アッシング装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) 基板サイズ プラズマソース 真空排気 圧力制御 プロセスガス 制御操作 データロギング 基板搬送 オプション
2周波独立印加方式 アッシング装置-品番-アッシング装置 要見積もり 最大φ8インチ CCP型 低真空プロセス:MBP+DP
高真空プロセス:TMP+DP
APC制御 F系、Cl2、Ar、O2、他 制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC
外部メモリまたはPC 大気または真空搬送ロボット

2周波独立印加方式、超低温冷却ステージ、発光分析システム、ガス検知器、シリンダーキャビネット など


全1種類の型番を一覧でみる

フィルターから探す

アッシング装置をフィルターから探すことができます

対応ウェーハサイズ mm

75 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 325

この商品を見た方はこちらもチェックしています

アッシング装置をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

185.3時間


企業レビュー

5.0

会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

もっと見る

  • 本社所在地: 埼玉県

この商品の該当カテゴリ

Copyright © 2025 Metoree