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基板サイズ
最大φ8インチ
プラズマソース
CCP型
真空排気
低真空プロセス:MBP+DP 高真空プロセス:TMP+DP
圧力制御
APC制御
プロセスガス
F系、Cl2、Ar、O2、他
制御操作
制御:PLC 操作:タッチパネルまたはPC
データロギング
外部メモリまたはPC
基板搬送
大気または真空搬送ロボット
型番
アッシング装置シリーズ
2周波独立印加方式 アッシング装置取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年12月12日にレビュー済み
顧客対応への満足度
回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。
初回対応までの時間への満足度
4.22時間
もっと見る
アッシング装置の製品26点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
商品画像 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | プラズマソース | 真空排気 | 圧力制御 | プロセスガス | 制御操作 | データロギング | 基板搬送 | オプション |
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要見積もり | 最大φ8インチ | CCP型 |
低真空プロセス:MBP+DP 高真空プロセス:TMP+DP |
APC制御 | F系、Cl2、Ar、O2、他 |
制御:PLC 操作:タッチパネルまたはPC |
外部メモリまたはPC | 大気または真空搬送ロボット |
2周波独立印加方式、超低温冷却ステージ、発光分析システム、ガス検知器、シリンダーキャビネット など |
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