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優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置-ジャパンクリエイト株式会社
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基板サイズ

丸 最大φ12インチ 角 最大310mm×375mm

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DLC:液体・気体ソース フッ化DLC:液体ソース

セルフクリーニングガス

O2、Ar、他

基板加熱温度

最高300℃ (基板表面)

真空排気

低真空プロセス:MBP+DP 高真空プロセス:TMP+DP

圧力制御

APC制御

制御操作

制御:PLC 操作:タッチパネルまたはPC

データロギング

外部メモリまたはPC

基板搬送

真空搬送ロボット

この製品について

■特徴

・成膜源はRFプラズマCVD法とイオン化蒸着法から選択可能 ・基板加熱源は水冷型と加熱型から選択可能 ・優れた膜厚分布および再現性を実現 ・様々な基板材質に成膜可能 ・広範な膜特性の制御可能 ・豊富な蓄積データ ・トレイ搬送にも対応可能

■用途

・半導体 ・電子部品 ・光学部品 ・車載部品 ・医療部品

  • 型番

    DLCコーティング装置

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年12月12日にレビュー済み

顧客対応への満足度

回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。

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優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置 DLCコーティング装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) 基板サイズ 成膜ガス セルフクリーニングガス 基板加熱温度 真空排気 圧力制御 制御操作 データロギング 基板搬送 オプション
優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置-品番-DLCコーティング装置 要見積もり 丸 最大φ12インチ
角 最大310mm×375mm
DLC:液体・気体ソース
フッ化DLC:液体ソース
O2、Ar、他 最高300℃ (基板表面) 低真空プロセス:MBP+DP
高真空プロセス:TMP+DP
APC制御 制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC
外部メモリまたはPC 真空搬送ロボット

300℃以上の高温プロセス、発光分析システム、排ガス処理装置、ガス検知器、シリンダーキャビネット など


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使用用途

#電子部品 #半導体製造 #光学機器 #自動車部品 #医療機器 #食品包装 #金属表面処理

コーティング kg/回

10 - 20 20 - 30

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

129.3時間


企業レビュー

5.0

会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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