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インライン式高真空アニール装置 SAF-X1201-株式会社昭和真空

全型番で同じ値の指標

排気ポンプ

RP+TMP+MBP

設置寸法

W3,210mm×D1,500mm×H2,282mm

重量

約4,000kg

電源容量

AC200V/24 kVA (69A)

処理方式

インライン式 通過型

所要空圧

供給圧: 0.5~0.7 MPa 設定圧: 0.5 MPa

所要水量

入圧: 0.4 MPa以下 差圧: 0.2 MPa以上 水温: 20~25℃ (但し、結露なきこと) 流量: 約1.20m3/h (20L/min)

所要ガス N2ガス (ベント用)

供給圧: 0.2 MPa以上 設定圧: 0.1~0.15 MPa

トレイ温度

270℃±7.5℃※アニール室に80min滞在時の後半60min間の温度変動

タクトタイム

約440秒 / トレイ

到達圧力 (アニール室)

9.9×10-4 Pa以下

排気時間 (アニール室)

1.2×10-2 Pa迄 約15分

処理数

加熱棚12段 / トレイ12枚 収容可能

この製品について

インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置

■用途・応用例

水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去。SMDパッケージに内在するアウトガスの放出。電極膜の安定化。

■特長

・本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のために熱処理を行うインライン式真空熱処理装置です。 ・仕込室、処理室、冷却室の3室からなり、トレイ仕込後、アニールから冷却まで全自動で行います。また、LD/ULDを接続することでライン化が可能になり、生産性の向上と省力化に貢献します。 ・W220mm×D140mmトレイで約440秒 (=約7分20秒) /枚のタクトタイムを実現しました。 ・アニール工程のフルオートメーション化により、歩留向上に貢献します。

  • 型番

    SAF-X1201

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インライン式高真空アニール装置 SAF-X1201 SAF-X1201の性能表

商品画像 価格 (税抜) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量 処理方式 所要空圧 所要水量 所要ガス N2ガス (ベント用) トレイ温度 タクトタイム 到達圧力 (アニール室) 排気時間 (アニール室) 処理数
インライン式高真空アニール装置 SAF-X1201-品番-SAF-X1201 要見積もり RP+TMP+MBP W3,210mm×D1,500mm×H2,282mm 約4,000kg AC200V/24 kVA (69A) インライン式 通過型 供給圧: 0.5~0.7 MPa 設定圧: 0.5 MPa 入圧: 0.4 MPa以下 差圧: 0.2 MPa以上 水温: 20~25℃ (但し、結露なきこと) 流量: 約1.20m3/h (20L/min) 供給圧: 0.2 MPa以上 設定圧: 0.1~0.15 MPa 270℃±7.5℃※アニール室に80min滞在時の後半60min間の温度変動 約440秒 / トレイ 9.9×10-4 Pa以下 1.2×10-2 Pa迄 約15分 加熱棚12段 / トレイ12枚 収容可能

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使用用途

#焼結 #ろう付け #焼鈍 #焼戻し #焼入れ #浸炭 #応力除去 #乾燥 #脱ガス #脱泡

加熱方式

抵抗加熱型 高周波加熱型 輻射加熱 直接通電 抵抗加熱

構造形式

横型炉 縦型炉 チャンバ型 バッチ型

真空到達度

低真空型 中真空型 高真空型

特殊機能

ガス置換型 急速昇降温型

最高温度 ℃

600 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,400

常用温度 ℃

500 - 600 600 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,200

到達真空度 Pa

0 - 0.1 0.1 - 10 10 - 100 100 - 150

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場(現在は東証スタンダード市場)を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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