NH Series | 測定機器非接触三次元測定装置 NH Series
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この製品について

■大型ワークにも対応可能な非接触三次元測定装置高精度と使いやすさを実現するNHシリーズで、これまでの測定課題を解決します。
・測定対象を傷つけることなく測定が可能
・急斜面や凹凸の大きな測定が得意
・鏡面やレンズなどの透明体もダイレクトに測定

■特長・非接触測定でプローブが摩耗しない：非接触式のプローブの摩耗のような継続的な変化がないので、日常の管理も容易です。
・測定点の観察が可能：測定点のレーザスポットとワーク表面の観察が常に可能です。画像処理により、エッジ検出、円測定が可能です。
・高精度、高剛性XYステージ：NHシリーズのXYステージは、”高精度特定=しっかりとしたメカ”の概念を持って一台一台丹念に仕上げ、検査を施しているため、高精度な走り平行度を実現しています。
・優れた角度追従性：高感度AFセンサが表面からの僅かな反射光を捕捉。急斜面や段差のダイレクト精密測定を可能にします。
・表面の色や反射率に依存しない：表面の反射率わすか0.5%程度のコーティングガラスから反射率90%以上の鏡面までダイレクトに計測することが可能です。

■接触式の課題点試料表面に触針による測定痕が残る
・軟質性、粘着性の試料は測定不可
・微小な測定位置決めが出来ない
・摩耗する

■接触式の課題の解決非接触での測定により、貴重なワークも実サンプルで測定可能です

■レーザー顕微鏡の課題点視野内しか測れない
・広い範囲の測定には張り合わせが必要
・自動プログラム測定が苦手

■レーザー顕微鏡の課題の解決測定範囲はステージ可動域全体なので、広い範囲をダイレクトに測定可能です

■干渉方式の課題点大きな形状変化は測定出来ない
・斜面の測定が苦手
・視野内しか測れない
・ミリオーダーの大きな反りは測れない

■干渉方式の課題の解決急斜面や凹凸の大きな形状の測定が得意です

■焦点合成方式の課題点鏡面ワークは測定出来ない
・鏡面仕上げの表面粗さ測定不可
・透明体などの測定では、表面処理などが必要

■焦点合成方式の課題の解決鏡面やレンズなどの透明体も、下処理無しでダイレクトに測定可能です

■ISOが認めた測定方式ISO規格の測定原理により、より信頼性の高いデータを提供します

型番
NH Series

シリーズ
測定機器非接触三次元測定装置 NH Series

取扱企業
三鷹光器株式会社

カテゴリ

測定機器

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三次元測定機

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