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測定機器 非接触表面性状測定装置 PF Series-三鷹光器株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

0.2時間

全型番で同じ値の指標

設置サイズ

400mm×400mm

装置重量

31kg

可動範囲 (X, Y, Z, AF)

60×60×60×10mm

X-Y軸スケール分解能

0.1μm

AF軸スケール分解能

0.01μm

測定原理

ポイントオートフォーカス法 ISO 25178-605

レーザ

λ=635nm出力 1mW以下

この製品について

■より早くより簡単により高精度に

インデックス測定の50倍速を可能にするスキャンAF機能と高精度自動XYステージにより、数十mmオーダーの広範囲をサブμmレベルの測定精度で高速に測定する事を実現しました。断面曲線では検出できない精密加工部品の反り測定、成型品の形状不良、トライボロジーにおける摩耗量や傷の定量評価に最適です。

■特長:広範囲、高精度測定

半径R0.5μmのレーザプローブと高精度XYステージにより、数十mmオーダーの範囲をサブμmレベルの測定精度で、ダイレクトに測定します。

■特長

・高速三次元測定:高速スキャンAF機能により、広範囲 / 高速測定を実現しました。従来は1時間20分かかっていた測定時間が6分で可能に。 ・優れた角度追従性:高感度AFセンサが表面からの僅かな反射光を捕捉。急斜面や段差のダイレクト精密測定を可能にします。 ・測定画面でワークをモニタしながら測定:見て測る。簡単操作で高度測定が可能です。観察用の低倍レンズと測定用の高倍レンズの切り替えがスライドのワンタッチ操作で容易に可能です。

■ISOが認めた測定方式

2008年に本測定法をISO規格の“面領域の表面性状の分類 (ISO 25178-6) ”に非接触測定法として提案し、“Point Autofocus Profiling”と命名され、2014年2月にISO 25178-605:Point Autofocus Probeとして公布されました。

■測定概要

PF-60はZ軸の高さ測定用のオートフォーカス (AF) 顕微鏡とスキャニング用高度精度XYステージにより構成されます。 AF顕微鏡により高さ方向の位置を測定し、XY、ステージ上のワークを移動させることでXYZの座標値を取り込み、形状測定を行います。

■スキャニングXYステージ

高精度XYステージを駆使させて座標軸を読み込む方式であるため、可動範囲内 (60mmx60mm) で連続して測定が可能です。視野範囲などの測定精度がないため測定データをつなぎ合わせる必要がなく、広範囲の高精度測定が可能です。

■ポイントフォーカス式

高さ測定用のAF顕微鏡に組み込まれたレーザ光は上図の赤いラインのような光路で対物レンズを通り、半径0.5μmのレーザプローブとして測定ワーク表面に結像します。

  • 型番

    PF Series

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測定機器 非接触表面性状測定装置 PF Series PF Seriesの性能表

商品画像 価格 (税抜) 設置サイズ 装置重量 可動範囲 (X, Y, Z, AF) X-Y軸スケール分解能 AF軸スケール分解能 測定原理 レーザ
測定機器 非接触表面性状測定装置 PF Series-品番-PF Series 要見積もり 400mm×400mm 31kg 60×60×60×10mm 0.1μm 0.01μm ポイントオートフォーカス法 ISO 25178-605 λ=635nm出力 1mW以下

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使用用途

#サイズ寸法 #工程管理 #品質管理 #真円度 #表面粗さ #3D測定解析 #ワイヤー

測定方式

接触式 非接触式 干渉式 画像解析式

測定対象

外形測定型 内部形状測定型 複雑形状測定型 表面形状測定型

測定機構

形状測定機型 表面粗さ測定機型 三次元形状測定機型

特徴機能

高精度型 高速測定型 自動解析型 三次元可視化型

測定範囲 mm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000

最大積載質量 kg

10 - 100 100 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000

上下移動量 mm

100 - 300 300 - 500 500 - 700 700 - 1,000 1,000 - 1,500

再現性 nm

0 - 1 1 - 2

分解能 μm

0 - 1 1 - 2

駆動加速度 mm/s2

0 - 1,000 1,000 - 2,000

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この商品の取り扱い会社情報

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0.2時間

会社概要

三鷹光器株式会社は、1966年に設立された光学測定装置・医療機器メーカーです。 ドイツ式赤道儀や太陽望遠鏡などの天文機器のほか、整形外科や耳鼻咽喉科向けの手術用顕微鏡や手術支援装置、非接触型の測定装置などを取り扱ってい...

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  • 本社所在地: 東京都

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