ZT67 | 半導体産業用小形デジタル圧力計 ZT67
長野計器株式会社

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測定流体

各種半導体プロセスガス

圧力レンジ

UC、BA、EP、GPグレード：0~0.3、0.5、1、2、5、10、20MPa、-0.1~0.3、0.5、1、2MPa、一般用：0~1MPa、-100~100kPa、-0.1~1MPa

継手形状

水平取付：T形、S形、垂直取付：S形

接続ねじ

1/4、3/8 UJR、VCR、CVC等

電源

12~24V DC±10%

表示精度

± (1.0%F.S.+1digit) at 23℃

コンパレータ出力

NPNまたはPNPオープンコレクタ×独立2出力 (ヒステリシスモード、ウインドモード) 、最大定格：30V DC、80mA DC、応答速度：2.5ms以下 (フィルタ無し時)

アナログ出力 (オプション)

1~5V DC (負荷抵抗10kΩ以上) 、出力精度：±3.0%F.S. at 23℃、応答速度：1ms以下

消費電流

30mA DC以下

使用温湿度範囲

-10~50℃、35~85%RH (氷結・結露なきこと)

保存温度範囲

-20~60℃ (氷結・結露なきこと)

温度係数

±0.1%F.S./℃ (ゼロ点、スパン)

圧力表示

3 1/2桁LED (文字高さ10mm)

ケーブル長さ

2mのみ

表示スケーリング

定格レンジに対し、-1,999~1,999digitの範囲内

フィルタ

無し、10ms、50ms、200ms、600msから選択

ホールド表示

圧力計測値の最大値と最小値を表示、リセット

ゼロ調

ADJキー (MODE+DOWNキー) により表示のゼロ点調整

キーロック

操作キーのロック

ケース構造

屋内一般形

質量

約150g (継手形状により異なる)

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この製品について

■半導体設備機器 (真空チャンバー、ドライポンプ) ・ガス供給ライン用途 (シリンダーキャビネット、集積化ガスパネル) ZT67は、高信頼の圧力センサを搭載し、従来のデジタル圧力計よりもさらに小さく、さらに見やすく、グレード別にラインアップした半導体産業用の小形デジタル圧力計です。UCグレードから一般用まで測定ガスに合わせて幅広く選定できます。

■特長・SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、長期安定性、信頼性に優れています。接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。
・小形□30mmサイズ
・文字高さ10mmの大型LED
・独立2出力のコンパレータ
・豊富なフィッティングバリエーション

型番
ZT67

シリーズ
半導体産業用小形デジタル圧力計 ZT67

取扱企業
長野計器株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

圧力計

メーター・計測機器

デジタル圧力計

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半導体産業用小形デジタル圧力計 ZT67 ZT67の性能表

商品画像	価格 (税抜)	測定流体	圧力レンジ	継手形状	接続ねじ	電源	表示精度	コンパレータ出力	アナログ出力 (オプション)	消費電流	使用温湿度範囲	保存温度範囲	温度係数	圧力表示	ケーブル長さ	表示スケーリング	フィルタ	ホールド表示	ゼロ調	キーロック	ケース構造	質量
	要見積もり	各種半導体プロセスガス	UC、BA、EP、GPグレード：0~0.3、0.5、1、2、5、10、20MPa、-0.1~0.3、0.5、1、2MPa、一般用：0~1MPa、-100~100kPa、-0.1~1MPa	水平取付：T形、S形、垂直取付：S形	1/4、3/8 UJR、VCR、CVC等	12~24V DC±10%	± (1.0%F.S.+1digit) at 23℃	NPNまたはPNPオープンコレクタ×独立2出力 (ヒステリシスモード、ウインドモード) 、最大定格：30V DC、80mA DC、応答速度：2.5ms以下 (フィルタ無し時)	1~5V DC (負荷抵抗10kΩ以上) 、出力精度：±3.0%F.S. at 23℃、応答速度：1ms以下	30mA DC以下	-10~50℃、35~85%RH (氷結・結露なきこと)	-20~60℃ (氷結・結露なきこと)	±0.1%F.S./℃ (ゼロ点、スパン)	3 1/2桁LED (文字高さ10mm)	2mのみ	定格レンジに対し、-1,999~1,999digitの範囲内	無し、10ms、50ms、200ms、600msから選択	圧力計測値の最大値と最小値を表示、リセット	ADJキー (MODE+DOWNキー) により表示のゼロ点調整	操作キーのロック	屋内一般形	約150g (継手形状により異なる)