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100.0%
返答時間
135.6時間
形状
無記入:表示なし L:表示あり
検出器 (測定範囲)
0~3L/min
検出器 (接続口径)
Tube 1/4″ (φ6.35×4.35)
流量単位
A:mL/min B:L/min
最大流量
測定範囲の最大流量を記入
流体名
流体名を記入
保守対応
AMP:変換器のみ手配 SENSOR:検出器のみ手配
流体
純水,スラリー,薬液 (IPA,H₂O₂,H₂SO₄,H₃PO₄,HF,HCl,O₃,NH₃など)
最小流量
標準0.001L/min
流量精度 (出荷校正時)
±1％ of R.D. (測定流量範囲の10％以下：±0.1％ of F.S.) ※「純水20℃ (室温25℃) 、流量安定状態で校正された瞬時流量精度」となります。
計測チャンネル数
1チャンネル
データ更新周期
10ms
最高使用圧力
0.5MPa (G)
破壊圧力
1.96MPa (G) 常温破壊圧力に90℃の破壊圧力低下係数を掛け合わせた規格値です。ご使用の際は規格値の1/2~1/5以下で運用いただくことを推奨いたします。
最高流体温度
90℃
使用環境温度
0~80℃ (検出器) ／0~50℃ (変換器) ※結露なきこと
変換器 計測方式
超音波伝搬時間差方式
変換器 デジタル入力 接点
・TTLまたは無電圧接点入力 ・入力ポート：2系統 (1系統につき1種類の入力を選択可) ※ゼロ点調整入力、積算リセット入力より選択
変換器 アナログ出力 計測出力
DC4-20mA
変換器 アナログ出力 分解能
12bit (約1/4,000ステップ)
変換器 アナログ出力 精度
4mA±0.05mA、20mA±0.1mA
変換器 アナログ出力 最大負荷抵抗
600Ω
変換器 アナログ出力 出力ポート
1系統 (瞬時流量値、積算値より選択)
変換器 アナログ出力 瞬時流量範囲
測定流量範囲同じ
変換器 アナログ出力 積算流量範囲
上限設定 (20mA) は任意に設定可能 ~32.000L (設定ステップ0.001L)
変換器 デジタル出力 出力ポート
2系統 (1系統につき1種類の出力を設定可能、アクティブLOW) 瞬時周波数出力,積算パルス出力,比較出力,エラー出力より選択
変換器 デジタル出力 印加電圧
Max.35V (VoL=1.3V) ※VoL=ローレベル出力電圧
変換器 デジタル出力 シンク電流
Max.100mA
変換器 デジタル出力 出力可能周波数
10~3,000Hz (F.S.周波数は100~3,000Hzの範囲で任意設定可能) ※機器により周波数を正常に取り込みできない場合は、周波数の最大値を下げて使用ください。
型番
USF600S-GC08取扱企業
東フロコーポレーション株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 形状 | 検出器 (測定範囲) | 検出器 (接続口径) | 流量単位 | 最大流量 | 流体名 | 保守対応 | 流体 | 最小流量 | 流量精度 (出荷校正時) | 計測チャンネル数 | データ更新周期 | 最高使用圧力 | 破壊圧力 | 最高流体温度 | 使用環境温度 | 変換器 計測方式 | 変換器 デジタル入力 接点 | 変換器 アナログ出力 計測出力 | 変換器 アナログ出力 分解能 | 変換器 アナログ出力 精度 | 変換器 アナログ出力 最大負荷抵抗 | 変換器 アナログ出力 出力ポート | 変換器 アナログ出力 瞬時流量範囲 | 変換器 アナログ出力 積算流量範囲 | 変換器 デジタル出力 出力ポート | 変換器 デジタル出力 印加電圧 | 変換器 デジタル出力 シンク電流 | 変換器 デジタル出力 出力可能周波数 | オプション |
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要見積もり |
無記入:表示なし L:表示あり |
0~3L/min | Tube 1/4″ (φ6.35×4.35) |
A:mL/min B:L/min |
測定範囲の最大流量を記入 | 流体名を記入 |
AMP:変換器のみ手配 SENSOR:検出器のみ手配 |
純水,スラリー,薬液 (IPA,H₂O₂,H₂SO₄,H₃PO₄,HF,HCl,O₃,NH₃など) | 標準0.001L/min |
±1％ of R.D. (測定流量範囲の10％以下：±0.1％ of F.S.) ※「純水20℃ (室温25℃) 、流量安定状態で校正された瞬時流量精度」となります。 |
1チャンネル | 10ms | 0.5MPa (G) |
1.96MPa (G) 常温破壊圧力に90℃の破壊圧力低下係数を掛け合わせた規格値です。ご使用の際は規格値の1/2~1/5以下で運用いただくことを推奨いたします。 |
90℃ |
0~80℃ (検出器) ／0~50℃ (変換器) ※結露なきこと |
超音波伝搬時間差方式 |
・TTLまたは無電圧接点入力 ・入力ポート：2系統 (1系統につき1種類の入力を選択可) ※ゼロ点調整入力、積算リセット入力より選択 |
DC4-20mA | 12bit (約1/4,000ステップ) | 4mA±0.05mA、20mA±0.1mA | 600Ω | 1系統 (瞬時流量値、積算値より選択) | 測定流量範囲同じ |
上限設定 (20mA) は任意に設定可能 ~32.000L (設定ステップ0.001L) |
2系統 (1系統につき1種類の出力を設定可能、アクティブLOW) 瞬時周波数出力,積算パルス出力,比較出力,エラー出力より選択 |
Max.35V (VoL=1.3V) ※VoL=ローレベル出力電圧 |
Max.100mA |
10~3,000Hz (F.S.周波数は100~3,000Hzの範囲で任意設定可能) ※機器により周波数を正常に取り込みできない場合は、周波数の最大値を下げて使用ください。 |
表示計:セット手配時、デジタルメータ型式を指定 |
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