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搬送タイプ
マニュアル搬送 (セミオート) 、自動搬、
外観寸法 (mm) W×D×H
マニュアル搬送、自動搬送 1,150 x 1,150 x 1,920
用力 (V) 電源
AC200
用力 (kPa) 真空
-70、-40
用力 (MPa) 圧空
0.3
ウエハサイズ (インチ)
4・6・8
型番
XGSシリーズ
ガラス基板研磨確認検査装置 XGS取扱企業
株式会社YGKカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 搬送タイプ | 外観寸法 (mm) W×D×H | 用力 (V) 電源 | 用力 (kPa) 真空 | 用力 (MPa) 圧空 | ウエハサイズ (インチ) |
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要見積もり | マニュアル搬送 (セミオート) 、自動搬、 | マニュアル搬送、自動搬送 1,150 x 1,150 x 1,920 | AC200 | -70、-40 | 0.3 | 4・6・8 |
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