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差動排気ポンプシステムを組合せ プロセスモニタリングシステム-コーンズ テクノロジー株式会社

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ダイナミックレンジ

6 桁 (シングルスキャン)

測定圧力レンジ

10mTorr~10Torr

フローレート

3×10-5 Torr-L/s

レスポンスタイム

2sec.

ソフトウェア

RGAシリーズと共通

この製品について

RGAシリーズに差動排気ポンプシステムを組み合わせたプロセスガス分析システムです。 減圧用バイパスラインのマイクロオリフィスは0.01、0.1、1、10Torrの中からお選びいただけます。

  • 型番

    PPR200

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差動排気ポンプシステムを組合せ プロセスモニタリングシステム PPR200の性能表

商品画像 価格 (税抜) マスレンジ ダイナミックレンジ 測定圧力レンジ フローレート レスポンスタイム ソフトウェア
差動排気ポンプシステムを組合せ プロセスモニタリングシステム-品番-PPR200 要見積もり 200amu 6 桁 (シングルスキャン) 10mTorr~10Torr 3×10-5 Torr-L/s 2sec. RGAシリーズと共通

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使用用途

#排ガス監視 #環境測定 #空気質評価 #工場排出管理 #安全監視 #化学反応解析 #燃焼制御 #半導体製造 #製品検査 #研究開発

測定原理

非分散赤外線型 熱伝導型 質量分析型 電気化学型 ガスクロマトグラフ型

分析対象

単成分分析型 多成分分析型

計測方式

連続測定型 バッチ測定型

構成形態

据置型 携帯型 モジュール型

測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間 秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

コーンズテクノロジー株式会社は、エレクトロニクス関連機器、電子部品、産業機材関連機器、理化学機器の販売・マーケティング・技術支援、及びダイヤ成膜装置の設計・開発・製造・販売を主な事業内容とする企業です。 1990年に設...

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  • 本社所在地: 東京都

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