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測定対象物の速度
最大12m/s
インターポレーションフリー分解能
1.25 nm (平面鏡干渉計 0.625 nm、二重平面鏡干渉計 0.3 nm)
加速制限
なし
信号遅延時間
< 100ns
耐性
電磁干渉に対する耐性
真空中波長He-Neレーザー
632.8 nm
波長安定性
2 × 10⁻⁹ 1時間 / 2 × 10⁻⁸ 生涯
直径
6 mm (オプションで3.2 mm)
最大出力ビーム出力
1 mW (レーザー クラス 2)
レーザーあたりの測定軸数
最大6までオプション
測定範囲、距離測定
最大40 m オプションで最大120 m
分解能、距離、位置測定
2.5 nm (三重反射鏡干渉計) 1.25 nm (平面鏡干渉計)
真空中でのAUKによる精度距離および位置測定
± 0.4 ppm (μ/m) ± 0.08 ppm (μ/m)
測定範囲、角度測定
±15°から20 mの長さ
角度測定分解能
0.062 μrad (12・10⁻³ arc sec)
精度角度測定
± 0.1 ppm
角度測定精度 (ステップバイステップの手順)
± 0.05 arcsec/mの移動 速度 (直線移動光学系)
測定範囲、平坦度測定
長さ20 mまで
分解能 平坦度測定
0.062 μrad (12・10⁻³ arc sec)
精度 平坦度測定
± 測定値の0.2% ±0.05μrad/mの変位
測定範囲、真直度測定
± 長さ2 m または10 mで 5 mm 長さ30 m (オプション) 、角度干渉計付き
解像度、真直度測定
2 mで29 nm、10 mで145 nm
精度 2 mから10 mまでの真直度測定
測定値の0.5% ±測定値の2.5%
重直度測定の測定範囲
± 2 m または10 mの長さで 5 mm
最大2 mから10 mの重直性測定の分解能
2 mで29 nm、10 mで145 nm
最大移動速度
4 m/s、オプション16m/s 並進 320 rad/s ロータリー
精度、速度、測定
± 0.5 ppmの読み取り値
最大加速度
制限なし
非線形
± 1.25 nm (三重反射鏡干渉計) ± 0.62 nm (平面鏡干渉計)
インターフェイス
直交信号 32ビット (リアルタイム) Δt≈20ns
型番
ZML 700シリーズ
ZLMレーザー干渉計 ZML 700取扱企業
エルアンドエム株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 測定対象物の速度 | インターポレーションフリー分解能 | 加速制限 | 信号遅延時間 | 耐性 | 真空中波長He-Neレーザー | 波長安定性 | 直径 | 最大出力ビーム出力 | レーザーあたりの測定軸数 | 測定範囲、距離測定 | 分解能、距離、位置測定 | 真空中でのAUKによる精度距離および位置測定 | 測定範囲、角度測定 | 角度測定分解能 | 精度角度測定 | 角度測定精度 (ステップバイステップの手順) | 測定範囲、平坦度測定 | 分解能 平坦度測定 | 精度 平坦度測定 | 測定範囲、真直度測定 | 解像度、真直度測定 | 精度 2 mから10 mまでの真直度測定 | 重直度測定の測定範囲 | 最大2 mから10 mの重直性測定の分解能 | 最大移動速度 | 精度、速度、測定 | 最大加速度 | 非線形 | インターフェイス |
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要見積もり | 最大12m/s | 1.25 nm (平面鏡干渉計 0.625 nm、二重平面鏡干渉計 0.3 nm) | なし | < 100ns | 電磁干渉に対する耐性 | 632.8 nm | 2 × 10⁻⁹ 1時間 / 2 × 10⁻⁸ 生涯 | 6 mm (オプションで3.2 mm) | 1 mW (レーザー クラス 2) | 最大6までオプション | 最大40 m オプションで最大120 m |
2.5 nm (三重反射鏡干渉計) 1.25 nm (平面鏡干渉計) |
± 0.4 ppm (μ/m) ± 0.08 ppm (μ/m) |
±15°から20 mの長さ | 0.062 μrad (12・10⁻³ arc sec) | ± 0.1 ppm |
± 0.05 arcsec/mの移動 速度 (直線移動光学系) |
長さ20 mまで | 0.062 μrad (12・10⁻³ arc sec) |
± 測定値の0.2% ±0.05μrad/mの変位 |
± 長さ2 m または10 mで 5 mm 長さ30 m (オプション) 、角度干渉計付き |
2 mで29 nm、10 mで145 nm |
測定値の0.5% ±測定値の2.5% |
± 2 m または10 mの長さで 5 mm | 2 mで29 nm、10 mで145 nm |
4 m/s、オプション16m/s 並進 320 rad/s ロータリー |
± 0.5 ppmの読み取り値 | 制限なし |
± 1.25 nm (三重反射鏡干渉計) ± 0.62 nm (平面鏡干渉計) |
直交信号 32ビット (リアルタイム) Δt≈20ns |
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使用用途
#表面形状測定 #振動解析 #変位計測 #厚み測定 #波面解析 #材料試験 #光学検査 #半導体製造 #マイクロマシニング #精密加工 #研究開発測定方式
干渉型 マイケルソン型使用環境
空気中測定型 真空中測定型 高温測定型 高精度基準型測定対象
幾何形状測定型 微細な変位測定型 全面測定型位置決め測定分解能 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 3位置決め測定可能距離 m
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000位置決め計測精度 ppm
0 - 0.2 0.2 - 0.5最大移動速度 m/s
0 - 2 2 - 5 10 - 15 15 - 20光源
VCSEL ファイバーカップルレーザーダイオード ヘリウムネオンレーザー 白12発光ダイオードアレイ 半導体レーザー
