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半導体後工程・電子部品用 8インチ一括投影露光装置 MRS-株式会社サーマプレシジョン

MRS | 半導体後工程・電子部品用 8インチ一括投影露光装置 MRS
株式会社サーマプレシジョン

この製品について

特長 ・8インチ以下は「一括露光方式」、12インチor□300mm基板は「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能 ・露光エリアが広い為、高生産性を実現 ・焦点深度が深い為、MEMS、 RFフィルター業界にも多数の実績あり ・TAIKOウエハにも対応 ・グローバルアライメント方式採用 ・高剛性フレームにより、高精度アライメント露光が可能 ・フォーカスマップ機構装備 (オプション)

  • 型番

    MRS

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#ナノテクノロジー #高解像度 #周期的構造 #LED #PCB #研究開発 #非平坦基板 #フォトニクス #光回折

光源波長 nm

300 - 400 400 - 500 500 - 600

最小露光線幅 μm

0 - 10 10 - 20

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300

露光領域 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150

ステージ

手動XYZθステージ 電動XYZθステージ 5軸ステージ

重量 kg

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会社概要

株式会社サーマプレシジョンは、商社機能もある露光装置のメーカーです。 2013年に、電子部品・半導体部品の製造・検査装置の商社のサーマトロニクス貿易株式会社と、露光装置メーカの目白プレシジョンが合併してできた会社です。...

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