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FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-DM-パナソニックインダストリー株式会社

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この製品について

■APX300-DMはプラズマによる化学反応プロセスを用いた加工であり、既存のブレードによるメカニカルなダスト・デブリ・振動・水圧が無く、クリーンな加工をご提案します。

・シングルチャンバー構成で研究開発から量産まで幅広く対応可能 ・同一チャンバーで異なる材質の連続加工が可能 (Si+絶縁膜※ ) ・200mmリング付きウエハ/300mmリングフレーム付きウエハに対応 ※SiO2、SiN、etc

  • 型番

    APX300-DM

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FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-DM APX300-DMの性能表

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使用用途

#ガウジング #ダクト加工 #パイプ加工 #橋梁構造物製造 #造船 #配管加工

電源方式

直流型 インバータ型

トーチ冷却方式

空冷型 水冷型

プラズマ生成ガス

空気プラズマ型 酸素プラズマ型 窒素プラズマ型 アルゴンプラズマ型 混合ガスプラズマ型

制御方式

手動操作型 半自動型 CNC自動型 ロボット連動型

入力電圧 V

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

出力電流 A

10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000

定格使用率 %

20 - 30 30 - 40 40 - 50 50 - 60 60 - 80 80 - 100

機械重量 kg

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500

最大切断速度 m/min

0 - 5 5 - 10 10 - 20

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

パナソニックインダストリー株式会社は、電子部品・産業デバイス・電子材料の開発・製造・販売を行う、パナソニックホールディングス傘下の大手メーカーです。 2022年に創業し、メカトロニクス・産業デバイス・デバイスソリューシ...

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  • 本社所在地: 大阪府

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