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除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ-明立精機株式会社

全型番で同じ値の指標

搭載可能質量 (kg) (4ユニット使用時)

500~1,500

機体寸法 W×D×H (mm)

240x240x191

ユニット質量 (kg/個)

25

供給空気圧 (MPa)

0.6~0.8 (Clean dry air)

定常空気消費量 (l/min)

45~65

最大空気消費量 (l/min)

120

電源電圧 (V)

100~240 (AC単相, 50/60Hz)

最大消費電力 (VA)

120

周囲温度 (℃)

0~40

周囲湿度 (%RH)

35~85

除振・制振方式

空気圧制御による振動制御

コントローラ寸法 W×D×H (mm)

435x300x118

1ユニットあたりの機体質量 (kg)

7.5

この製品について

FPD製造装置等大型装置向アクティブ除振装置のロープライス化を実現しました。 多くの納入実績を持つMAPSシリーズ。その中でも特に要望の多かったMAPS-130,240の性能はそのままに、一から設計を見直しすることによりコストパフォーマンス向上を実現したMRZシリーズを開発・実用化しました。

■適用分野

・計測・計量機器 ・半導体製造・精密加工 概要・特長

■主な用途

FPD・半導体製造装置、電子顕微鏡・真空関連装置、測定機器、超精密加工機、etc.

■6自由度アクティブ制御

・垂直・水平の空気圧アクチュエータを組み込んだユニットタイプ ・パッシブ除振では難しい帯域の振動も除振します。

■アクティブ状態でFB+FloorFF制御を行います

・FB:フィードバック制御系 ・FloorFF:床振動フィードフォワード制御系 ・StageFF:ステージフィードフォワード制御系 (オプション)

■「軽量・コンパクト」「低消費電力」「低価格」

ユニットの軽量・コンパクト化、消費電力の低減、ロープライスを実現しました。

■特許取得済

特許第5457821号

  • 型番

    MRZ-120

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最新の閲覧: 6時間前


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除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ MRZ-120の性能表

商品画像 価格 (税抜) 搭載可能質量 (kg) (4ユニット使用時) 機体寸法 W×D×H (mm) ユニット質量 (kg/個) 供給空気圧 (MPa) 定常空気消費量 (l/min) 最大空気消費量 (l/min) 電源電圧 (V) 最大消費電力 (VA) 周囲温度 (℃) 周囲湿度 (%RH) 除振・制振方式 コントローラ寸法 W×D×H (mm) 1ユニットあたりの機体質量 (kg)
除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ-品番-MRZ-120 要見積もり 500~1,500 240x240x191 25 0.6~0.8 (Clean dry air) 45~65 120 100~240 (AC単相, 50/60Hz) 120 0~40 35~85 空気圧制御による振動制御 435x300x118 7.5

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使用用途

#精密計測 #顕微鏡観察 #半導体検査 #電子顕微鏡 #光学実験 #ナノテク研究 #試験機設置 #理化学機器 #クリーンルーム

制振方式

空気ばね型 ゴム弾性体型 アクティブ型 ハイブリッド型

設置方式

床置き型 卓上型 架台一体型 キャスター付き型

特殊機能

自動レベリング機能付き型 電磁波シールド対応型 クリーン対応型 耐震設計型

搭載可能重量 kg

0 - 50 50 - 150 150 - 500 500 - 1,500 1,500 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 30,000

固有振動数 Hz

1 - 3 3 - 6 6 - 13

製品重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

除振性能別着座時高さ mm

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 550

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

明立精機株式会社は、振動やノイズに対処する除振装置や除振システムの開発・製造を主な事業としている企業です。 設立は1968年で、製造は神奈川県座間市に工場、大阪市淀川区西中島にある大阪営業所を置き、海外では韓国と中国に...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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