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ウェハサイズ
φ4"andφ6"×t0.5~0.8mm
タクトタイム
Subjecttosoftcontactmode: 20s/wafer (Oneparallelismcompensationperlot)
アライメント精度
:Within+/-1μm (Originalmethod) :Within+/-2μm (Patternmatching)
光源
Super-highpressuremercurylamp:500W
型番
MA-4000取扱企業
株式会社菱光社カテゴリ
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半導体露光装置の製品32点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | ウェハサイズ | タクトタイム | アライメント精度 | 光源 | オプション |
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要見積もり | φ4"andφ6"×t0.5~0.8mm | Subjecttosoftcontactmode: 20s/wafer (Oneparallelismcompensationperlot) | :Within+/-1μm (Originalmethod) :Within+/-2μm (Patternmatching) | Super-highpressuremercurylamp:500W |
裏面アライメント,マスクのオートアライメントデータログの保存,反り基板対応,その他 |
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