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基板サイズ
φ2",φ3",φ4" and max.φ6" カット基板にも対応
マスクサイズ
φ5" and max.φ7"
アライメント
ANUAL ALIGNMENTパルサまたはジョグスイッチにてアライメントステージを手動で操作しマスク側のアライメントマークに基板側のアライメントマークを合わせる
ギャップ
1 to 200 μm (Servo motor) 設定分解能: 1μm
解像力
L & S: 4μm (ポジレジスト膜厚 1μm, ソフトコンタクト)
光源
Super high-pressure UV-lamp: 500 W
寸法・重量
Main body: W 750 x D 1,050 x H 1,710 mmMain body: 400 kg
型番
MA-1200A取扱企業
株式会社菱光社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年4月10日にレビュー済み
顧客対応への満足度
初回対応までの時間への満足度
28.97時間
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半導体露光装置の製品36点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | マスクサイズ | アライメント | ギャップ | 解像力 | 光源 | 寸法・重量 |
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要見積もり | φ2",φ3",φ4" and max.φ6" カット基板にも対応 | φ5" and max.φ7" | ANUAL ALIGNMENTパルサまたはジョグスイッチにてアライメントステージを手動で操作しマスク側のアライメントマークに基板側のアライメントマークを合わせる | 1 to 200 μm (Servo motor) 設定分解能: 1μm | L & S: 4μm (ポジレジスト膜厚 1μm, ソフトコンタクト) | Super high-pressure UV-lamp: 500 W | Main body: W 750 x D 1,050 x H 1,710 mmMain body: 400 kg |
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