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機構・方式
多孔質静圧空気軸受・テーブル回転式
回転精度
(0.02+0.0003H) μm (JIS B 7451) H:テーブル面上からの高さ (mm) (0.02+0.0003R) μm R:回転中心からの半径 (mm)
最大測定径
内外径共 φ450mm
積載質量
60kg
上下移動量
400mm (bスタイラスアーム使用時)
型番
EC4100H取扱企業
株式会社菱光社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 機構・方式 | 回転精度 | 最大測定径 | 積載質量 | 上下移動量 |
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要見積もり | 多孔質静圧空気軸受・テーブル回転式 |
(0.02+0.0003H) μm (JIS B 7451) H:テーブル面上からの高さ (mm) (0.02+0.0003R) μm R:回転中心からの半径 (mm) |
内外径共 φ450mm | 60kg |
400mm (bスタイラスアーム使用時) |
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測定範囲 mm
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000最大積載質量 kg
10 - 100 100 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000上下移動量 mm
100 - 300 300 - 500 500 - 700 700 - 1,000 1,000 - 1,500再現性 nm
0 - 1 1 - 2分解能 μm
0 - 1 1 - 2駆動加速度 mm/s2
0 - 1,000 1,000 - 2,000