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返答率
100.0%
返答時間
31.5時間
基板
Metal Layer + Photo-Resist (Positive Type)
基板寸法
L Max. 320 mm W Max. 80 mm t = 0.6 ~ 1.0 mm
搬送方式
水平型 Roller 搬送式 Horizontal Roller Conveyor
処理速度
Standard 1.0 m /min. Variable 0.3 ~ 2.5 m / min.
装置構成
標準 Stand Alone In-Line System is option.
処理面
上面 The upper side is the patterning.
装置寸法
3,400L x 1,600W (*) x 1,250 H mm * 付帯設備を含む * Including Attached Optional Units.
給水
純水 D.I.Water ~ 15 LPM
冷却機構
無
排水
アルカリ Alkaline ~ 50LPM
排気
アルカリ Alkaline ~ 3,000LPM
圧縮空気
Clean Dry Air ~ 1,000 NLPM (* Using Air-Knife )
電源
3φ 200V Approx. 10 kVA (50A/75AF)
投入
カセットローダはOption
感光性レジスト現像
循環スプレ Circulation Spray+Brush Scrubbing タンク容量 Max80L 処理温度 Std.Temp.40℃ Chemicals : Alkaline Solution
薬液管理
オプション
水洗
循環水洗 Circulation Rinsing Spray x 2 + 純水洗 D.I.W. Rinse
液切乾燥
Air-Knife
排出
カセット式アンローダはオプション 基板整列機構
型番
SLS-300取扱企業
進和工業株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 基板 | 基板寸法 | 搬送方式 | 処理速度 | 装置構成 | 処理面 | 装置寸法 | 給水 | 冷却機構 | 排水 | 排気 | 圧縮空気 | 電源 | 投入 | 感光性レジスト現像 | 薬液管理 | 水洗 | 液切乾燥 | 排出 |
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要見積もり | Metal Layer + Photo-Resist (Positive Type) | L Max. 320 mm W Max. 80 mm t = 0.6 ~ 1.0 mm | 水平型 Roller 搬送式 Horizontal Roller Conveyor | Standard 1.0 m /min. Variable 0.3 ~ 2.5 m / min. | 標準 Stand Alone In-Line System is option. | 上面 The upper side is the patterning. |
3,400L x 1,600W (*) x 1,250 H mm * 付帯設備を含む * Including Attached Optional Units. |
純水 D.I.Water ~ 15 LPM | 無 | アルカリ Alkaline ~ 50LPM | アルカリ Alkaline ~ 3,000LPM | Clean Dry Air ~ 1,000 NLPM (* Using Air-Knife ) | 3φ 200V Approx. 10 kVA (50A/75AF) | カセットローダはOption |
循環スプレ Circulation Spray+Brush Scrubbing タンク容量 Max80L 処理温度 Std.Temp.40℃ Chemicals : Alkaline Solution |
オプション | 循環水洗 Circulation Rinsing Spray x 2 + 純水洗 D.I.W. Rinse | Air-Knife |
カセット式アンローダはオプション 基板整列機構 |
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100.0%
返答時間
31.5時間