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進和工業株式会社の対応状況 返信の比較的早い企業

返答率

100.0%

返答時間

31.5時間

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基板

Metal Layer + Photo-Resist (Positive Type)

基板寸法

L Max. 320 mm W Max. 80 mm t = 0.6 ~ 1.0 mm

搬送方式

水平型 Roller 搬送式 Horizontal Roller Conveyor

処理速度

Standard 1.0 m /min. Variable 0.3 ~ 2.5 m / min.

装置構成

標準 Stand Alone In-Line System is option.

処理面

上面 The upper side is the patterning.

装置寸法

3,400L x 1,600W (*) x 1,250 H mm * 付帯設備を含む * Including Attached Optional Units.

給水

純水 D.I.Water ~ 15 LPM

冷却機構

排水

アルカリ Alkaline ~ 50LPM

排気

アルカリ Alkaline ~ 3,000LPM

圧縮空気

Clean Dry Air ~ 1,000 NLPM (* Using Air-Knife )

電源

3φ 200V Approx. 10 kVA (50A/75AF)

投入

カセットローダはOption

感光性レジスト現像

循環スプレ Circulation Spray+Brush Scrubbing タンク容量 Max80L 処理温度 Std.Temp.40℃ Chemicals : Alkaline Solution

薬液管理

オプション

水洗

循環水洗 Circulation Rinsing Spray x 2 + 純水洗 D.I.W. Rinse

液切乾燥

Air-Knife

排出

カセット式アンローダはオプション 基板整列機構

この製品について


  • 型番

    SLS-300

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TPH 基板レジスト剥離装置 SLS-300 SLS-300の性能表

商品画像 価格 (税抜) 基板 基板寸法 搬送方式 処理速度 装置構成 処理面 装置寸法 給水 冷却機構 排水 排気 圧縮空気 電源 投入 感光性レジスト現像 薬液管理 水洗 液切乾燥 排出
要見積もり Metal Layer + Photo-Resist (Positive Type) L Max. 320 mm W Max. 80 mm t = 0.6 ~ 1.0 mm 水平型 Roller 搬送式 Horizontal Roller Conveyor Standard 1.0 m /min. Variable 0.3 ~ 2.5 m / min. 標準 Stand Alone In-Line System is option. 上面 The upper side is the patterning. 3,400L x 1,600W (*) x 1,250 H mm
* 付帯設備を含む * Including Attached Optional Units.
純水 D.I.Water ~ 15 LPM アルカリ Alkaline ~ 50LPM アルカリ Alkaline ~ 3,000LPM Clean Dry Air ~ 1,000 NLPM (* Using Air-Knife ) 3φ 200V Approx. 10 kVA (50A/75AF) カセットローダはOption 循環スプレ Circulation Spray+Brush Scrubbing
タンク容量 Max80L
処理温度 Std.Temp.40℃
Chemicals : Alkaline Solution
オプション 循環水洗 Circulation Rinsing Spray x 2 + 純水洗 D.I.W. Rinse Air-Knife カセット式アンローダはオプション
基板整列機構

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使用用途

#レジスト除去 #残留有機膜剥離 #イオン注入ポリマー除去 #ウェハ表面クリーニング #CCDカラーフィルター処理 #チップパッケージ処理 #MEMS表面処理

対応ウェーハサイズ mm

75 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 325

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  • 本社所在地: 兵庫県

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