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返答率
100.0%
返答時間
169.1時間
周波数
13.560MHz
定格出力
500W
出力可変囲
0W ~ 500W
周波数変動
±1kHz以内
電源入力
AC100V/200V単相出荷時設定
消費電力
約800W
出力安定度
±1%以内 (内部制御時CW )
冷却方式
強制空冷
変調機能
なし
外部発振
5mW@50Ω
終段アンプ
MOS-FETCLASSD
外部制御
外部制御専用
スプリアス
-50dBc以下
出力コネクタ
N-R型同軸コネクタ
ACコネクタ
ACインレット3P
その他コネクタ
リモコンDDK#57-40240
保護回路
反射保護・内部過電圧・過電流保護 (垂下) 過熱保護 (遮断)
付属機能
整合器用電源連絡コネクタ、外部インタロック端子台
外形寸法
206 (240) x99x350mm (WxHxD突起物除く)
重量
約5kg
型番
RF-500シリーズ
高周波電源 RF-500取扱企業
ジェイエス技研株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 周波数 | 定格出力 | 出力可変囲 | 周波数変動 | 電源入力 | 消費電力 | 出力安定度 | 冷却方式 | 変調機能 | 外部発振 | 終段アンプ | 外部制御 | スプリアス | 出力コネクタ | ACコネクタ | その他コネクタ | 保護回路 | 付属機能 | 外形寸法 | 重量 |
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要見積もり | 13.560MHz | 500W | 0W ~ 500W | ±1kHz以内 | AC100V/200V単相出荷時設定 | 約800W | ±1%以内 (内部制御時CW ) | 強制空冷 | なし | 5mW@50Ω | MOS-FETCLASSD | 外部制御専用 | -50dBc以下 | N-R型同軸コネクタ | ACインレット3P | リモコンDDK#57-40240 | 反射保護・内部過電圧・過電流保護 (垂下) 過熱保護 (遮断) | 整合器用電源連絡コネクタ、外部インタロック端子台 | 206 (240) x99x350mm (WxHxD突起物除く) | 約5kg |
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使用用途
#誘導加熱 #プラズマ生成 #実験研究 #真空装置 #半導体製造 #表面処理 #材料評価定格出力 W
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000発振周波数 MHz
0 - 100 1,000 - 3,000出力電力定格 W
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000冷却方式
空冷 水冷出力安定度 %
1 2使用環境 ℃
0 - 10 10 - 30 30 - 40