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返答率
100.0%
返答時間
57.3時間
モデル
PHT2200
設置環境
クリーンルーム内 大気中 温度10℃~35℃ 湿度70％RH以下
アーム
シングルアーム 材質 アルミ・CFRP・セラミック
動作範囲
X軸：1,050mm θ軸：340deg Z軸：400mm
動作速度 (最速)
X軸：500mm/sec θ軸：200deg/sec Z軸：250mm/sec
可搬質量
10kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計)
ロボット型式
PHT-R-3-2200
被搬送物
~300mmウェーハ (その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します)
ウェーハ保持方式
真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド
機械構造形式
水平多関節型 円筒座標系
制御軸
3軸
駆動源
伸縮・旋回・上下 3軸 AC サーボ駆動
モータタイプ
ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様
搬送ハンド
CFRP+PEEK ウエハ落とし込み方式
マッピング
光電式 透過型センサ
重量
本体重量：約47Kg コントローラ：約8Kg
制御ケーブル
3m (標準) 5m・10m
制御仕様 (1)
パラレルインターフェース 入力 32点 出力 32点
制御仕様 (2)
シリアルインターフェース RS-232C×1回線
繰り返し精度
±0.1 mm以下
クリーン度
ISO クラス 2 (0.1μm以上 10個/m³以下)
ユーティリティ
定格電圧：単相 AC200~230V±10% 定格電流：5A 真空：-80kPa以下 10NL/min 以上
コントローラ型式
MDF
インタフェース
RS232C 1回線 デジタルIO 入力：32点・DC24V 8mA 出力：32点・DC24V±3V 0.1A以下
型番
PHT2200シリーズ
3軸円筒座標型クリーンロボット取扱企業
PHT株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | モデル | 設置環境 | アーム | 動作範囲 | 動作速度 (最速) | 可搬質量 | ロボット型式 | 被搬送物 | ウェーハ保持方式 | 機械構造形式 | 制御軸 | 駆動源 | モータタイプ | 搬送ハンド | マッピング | 重量 | 制御ケーブル | 制御仕様 (1) | 制御仕様 (2) | 繰り返し精度 | クリーン度 | ユーティリティ | コントローラ型式 | インタフェース |
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要見積もり | PHT2200 | クリーンルーム内 大気中 温度10℃~35℃ 湿度70％RH以下 | シングルアーム 材質 アルミ・CFRP・セラミック | X軸：1,050mm θ軸：340deg Z軸：400mm | X軸：500mm/sec θ軸：200deg/sec Z軸：250mm/sec | 10kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) | PHT-R-3-2200 |
~300mmウェーハ (その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します) |
真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド | 水平多関節型 円筒座標系 | 3軸 | 伸縮・旋回・上下 3軸 AC サーボ駆動 | ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様 | CFRP+PEEK ウエハ落とし込み方式 | 光電式 透過型センサ | 本体重量：約47Kg コントローラ：約8Kg | 3m (標準) 5m・10m | パラレルインターフェース 入力 32点 出力 32点 | シリアルインターフェース RS-232C×1回線 | ±0.1 mm以下 | ISO クラス 2 (0.1μm以上 10個/m³以下) |
定格電圧：単相 AC200~230V±10% 定格電流：5A 真空：-80kPa以下 10NL/min 以上 |
MDF | RS232C 1回線 デジタルIO 入力：32点・DC24V 8mA 出力：32点・DC24V±3V 0.1A以下 |
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クリーン度
Class 1 Class 2 Class 3可搬質量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10繰り返し精度 mm
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2ロボット形状
2軸円筒座標形 3軸円筒座標形 4軸円筒座標形本体質量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000定格電圧 V
0 - 50 50 - 250運転時間 時間
0 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 10 10 - 15 15 - 20清掃幅 mm
0 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000
