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閲覧履歴
基板
0.5インチ ミニマルウェハ
基板搬送
ミニマルシャトル ＆ 搬送システム (PLAD)
露光方式
スキャン露光方式
光源
LED (光源波長：λ=385nm)
焦点合わせアライメント
全自動
重ね合わせ精度
±0.5µm以内
露光分解能
1.0µm (1:1 L/S)
データ分解能
標準露光時：0.5µm/pix、ファイン露光時：0.05µm/pix (x10) , 0.10µm/pix (x5) ,0.125µm/pix (x4) , 0.25µm/pix (x5)
本体寸法
W294 × D450 × H1,440mm
重量
約150kg
ユーティリティ
AC100V (5A) 圧縮空気 0.45~0.8MPa
消費電力
300W
型番
ミニマル マスクレス露光装置取扱企業
株式会社ピーエムティーカテゴリ
レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
4.0
評判が良い
2025年11月15日にレビュー
この度はメトリーを通じてお見積りのご依頼にご対応いただき、誠にありがとうございました。 丁寧でわかりやすいご案内をいただき、安心してやり取りを進めることができました。 印刷対象や数量、予算などの詳細についても具体的に質問してくださり、スムーズにお見積もり準備を進められる点が非常に助かりました。 対応も迅速かつ丁寧で、今後も安心してお願いできる企業様だと感じました。
初回返答までの時間・22.03時間2025年4月15日にレビュー
こちらの質問に対しても、きちんと回答をいただけました。
初回返答までの時間・437.25時間| 商品画像 | 価格 (税抜) | 基板 | 基板搬送 | 露光方式 | 光源 | 焦点合わせアライメント | 重ね合わせ精度 | 露光分解能 | データ分解能 | 本体寸法 | 重量 | ユーティリティ | 消費電力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 0.5インチ ミニマルウェハ | ミニマルシャトル ＆ 搬送システム (PLAD) | スキャン露光方式 | LED (光源波長：λ=385nm) | 全自動 | ±0.5µm以内 | 1.0µm (1:1 L/S) | 標準露光時：0.5µm/pix、ファイン露光時：0.05µm/pix (x10) , 0.10µm/pix (x5) ,0.125µm/pix (x4) , 0.25µm/pix (x5) | W294 × D450 × H1,440mm | 約150kg | AC100V (5A) 圧縮空気 0.45~0.8MPa | 300W |
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使用用途
#ナノテクノロジー #高解像度 #周期的構造 #LED #PCB #研究開発 #非平坦基板 #フォトニクス #光回折露光方式
ステッパ型 スキャナ型 フラッシュ型 ダイレクト描画型光源種類
紫外光型 エキシマレーザー型対応基板サイズ
6インチ対応型 8インチ対応型 12インチ対応型精度制御方式
光学制御型 ステージ制御型光源波長 nm
300 - 400 400 - 500 500 - 600最小露光線幅 μm
0 - 10 10 - 20ワークサイズ mm
0 - 100 100 - 200 200 - 300露光領域 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150ステージ
手動XYZθステージ 電動XYZθステージ 5軸ステージ重量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 1,300
