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基板
0.5インチ ミニマルウェハ
基板搬送
ミニマルシャトル & 搬送システム (PLAD)
露光方式
スキャン露光方式
光源
LED (光源波長:λ=385nm)
焦点合わせアライメント
全自動
重ね合わせ精度
±0.5µm以内
露光分解能
1.0µm (1:1 L/S)
データ分解能
標準露光時:0.5µm/pix、ファイン露光時:0.05µm/pix (x10) , 0.10µm/pix (x5) ,0.125µm/pix (x4) , 0.25µm/pix (x5)
本体寸法
W294 × D450 × H1,440mm
重量
約150kg
ユーティリティ
AC100V (5A) 圧縮空気 0.45~0.8MPa
消費電力
300W
型番
ミニマル マスクレス露光装置取扱企業
株式会社ピーエムティーカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年4月15日にレビュー済み
顧客対応への満足度
こちらの質問に対しても、きちんと回答をいただけました。
初回対応までの時間への満足度
437.25時間
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半導体露光装置の製品32点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 基板 | 基板搬送 | 露光方式 | 光源 | 焦点合わせアライメント | 重ね合わせ精度 | 露光分解能 | データ分解能 | 本体寸法 | 重量 | ユーティリティ | 消費電力 |
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要見積もり | 0.5インチ ミニマルウェハ | ミニマルシャトル & 搬送システム (PLAD) | スキャン露光方式 | LED (光源波長:λ=385nm) | 全自動 | ±0.5µm以内 | 1.0µm (1:1 L/S) | 標準露光時:0.5µm/pix、ファイン露光時:0.05µm/pix (x10) , 0.10µm/pix (x5) ,0.125µm/pix (x4) , 0.25µm/pix (x5) | W294 × D450 × H1,440mm | 約150kg | AC100V (5A) 圧縮空気 0.45~0.8MPa | 300W |
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