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ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ M500D-800-日新電機株式会社

日新電機株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

48.3時間

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推奨コーティングゾーン

φ500×H600[mm]

蒸発源数

8units

蒸発源ユニット構成

2S×8

付属治具テーブル

8軸自公転治具

成膜方式

陰極アーク式イオンプレーティング

基材エッチング方式

ガスボンバード、メタルボンバード

カソードサイズ

φ64×t32

扉数

2ドア

ガス系統

標準4系統

ヒーター

標準装備

温度モニター

標準装備 (熱電対計測3か所)

主排気ポンプ

ターボ分子ポンプ

推奨設置スペース

W4,500×D5,300×H3,000[mm]

この製品について

■概要

アドバンスコーティングシステムM500Dはセラミックス薄膜のコーティングによる表面改質に、独自のスムースコーティングテクノロジーを駆使した、 優れた膜質と高い生産性を実現する陰極アーク式イオンプレーティング装置です。

■特長

・低温コーティングに適した2S,2SD蒸発源を始めとして、多彩な蒸発源の搭載が可能。 ・丸型の蒸発源フランジを採用し、2SD蒸発源による多彩な多元素複合膜や積層膜が成膜可能。 ・八角形チャンバーを採用し、各種プラズマ機器を搭載。 ・各ユニットへのアクセス性が良く優れたメンテナンス性。 ・ロングセラーモデルで出荷実績が多数。

  • 型番

    M500D-800

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ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ M500D-800 M500D-800の性能表

商品画像 価格 (税抜) 推奨コーティングゾーン 蒸発源数 蒸発源ユニット構成 付属治具テーブル 成膜方式 基材エッチング方式 カソードサイズ 扉数 ガス系統 ヒーター 温度モニター 主排気ポンプ 推奨設置スペース
ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ M500D-800-品番-M500D-800 要見積もり φ500×H600[mm] 8units 2S×8 8軸自公転治具 陰極アーク式イオンプレーティング ガスボンバード、メタルボンバード φ64×t32 2ドア 標準4系統 標準装備 標準装備 (熱電対計測3か所) ターボ分子ポンプ W4,500×D5,300×H3,000[mm]

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使用用途

#電子部品 #半導体製造 #光学機器 #自動車部品 #医療機器 #食品包装 #金属表面処理

成膜方式

真空蒸着型 スパッタリング型 CVD型 ディップコート型 スプレーコート型 ロールコート型

環境条件

大気圧型 低圧型 超高真空型

構造仕様

バッチ型 インライン型 ロータリー型

機能特性

多層成膜型 高速成膜型 高精度成膜型

コーティング kg/回

10 - 20 20 - 30

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

48.3時間

会社概要

日新電機株式会社は、電力・環境システム事業やビーム・プラズマ事業、装置部品ソリューション事業を行う企業です。 電力・環境システム事業としては、顧客ニーズにあわせて電力エネルギーを活用するソリューションの提供、ガス絶縁開...

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  • 本社所在地: 京都府

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