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返答率
100.0%
返答時間
24.0時間
スキャン方式
レーザ側方散乱方式、デュアルヘッドセンサ
ワーク設置
マニュアル／自動搬送機
消費電力
AC100V／200V 30A
最小検出粒径
0.1μm
再現性
σ／X ≦ 10%
測定時間
4インチウェハを2分以内
検査対象基板
SiC／各種透明ガラス基板／Siウェハ／各種膜付きウェハ等
装置外形寸法
W900mm×D1,000mm×H1,757mm (マニュアル) W1,530mm×D1,200mm×H1,715mm (自動搬送機)
本体重量
約500kg (マニュアル) ／約1,000kg (自動搬送機)
メーカー名
YGK
型番
YPI－MX－ΘDC取扱企業
ファーストゲート株式会社カテゴリ
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パーティクルカウンターの製品148点中、注目ランキング上位6点
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | スキャン方式 | ワーク設置 | 消費電力 | 最小検出粒径 | 再現性 | 測定時間 | 検査対象基板 | 装置外形寸法 | 本体重量 | メーカー名 |
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要見積もり | レーザ側方散乱方式、デュアルヘッドセンサ | マニュアル／自動搬送機 | AC100V／200V 30A | 0.1μm | σ／X ≦ 10% | 4インチウェハを2分以内 | SiC／各種透明ガラス基板／Siウェハ／各種膜付きウェハ等 |
W900mm×D1,000mm×H1,757mm (マニュアル) W1,530mm×D1,200mm×H1,715mm (自動搬送機) |
約500kg (マニュアル) ／約1,000kg (自動搬送機) | YGK |
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検出方式が光学式検出型の製品
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使用用途
#クリーンルーム #製薬工場 #半導体製造 #食品加工 #医療施設 #建築環境 #空調設備 #環境調査 #電子機器製造測定方式
連続測定型 断続測定型 単一粒子型 複数サイズ型対応範囲
微粒子対応型 中粒子対応型 大粒子対応型測定粒径サイズ μm
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 25 25 - 30 30 - 100計数効率 %
30 - 50 50 - 100 100 - 110サンプリング流量 L/min
1 - 3 3 - 100 100 - 110光源
レーザーダイオード 半導体レーザーゼロカウントレベル count/分
0 - 0.01 0.01 - 0.02 0.02 - 0.4使用環境温度 ℃
0 - 5 5 - 10 10 - 35 35 - 40使用環境湿度 %RH
20 - 30 30 - 70 70 - 90 90 - 100
