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返答率
100.0%
返答時間
24.0時間
対応基板サイズ
最大200mm×200mm (200mm以上の場合はご相談ください)
スキャン方式
X-Yスキャン／Θ-Xスキャン (螺旋スキャン)
スループット
200mmを約4分／Φ200mmを約3分 (高速スキャン対応可能)
ワーク設置
搬送ロボット (裏面吸着／エッジクランプ)
装置外形寸法
W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm
本体重量
約800kg
消費電力
約1.5kW (100V)
検査対象基板
Siウェハ、各種膜付きウェハ
最小検出感度
Siウェハ時、0.1μm
メーカー名
YGK
型番
YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA取扱企業
ファーストゲート株式会社カテゴリ
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一括見積もり
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対応基板サイズ | スキャン方式 | スループット | ワーク設置 | 装置外形寸法 | 本体重量 | 消費電力 | 検査対象基板 | 最小検出感度 | メーカー名 |
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要見積もり |
最大200mm×200mm (200mm以上の場合はご相談ください) |
X-Yスキャン／Θ-Xスキャン (螺旋スキャン) |
200mmを約4分／Φ200mmを約3分 (高速スキャン対応可能) |
搬送ロボット (裏面吸着／エッジクランプ) | W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm | 約800kg | 約1.5kW (100V) | Siウェハ、各種膜付きウェハ | Siウェハ時、0.1μm | YGK |
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検出方式が光学式検出型の製品
パーティクルカウンターをフィルターから探すことができます
使用用途
#クリーンルーム #製薬工場 #半導体製造 #食品加工 #医療施設 #建築環境 #空調設備 #環境調査 #電子機器製造測定方式
連続測定型 断続測定型 単一粒子型 複数サイズ型対応範囲
微粒子対応型 中粒子対応型 大粒子対応型測定粒径サイズ μm
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 25 25 - 30 30 - 100計数効率 %
30 - 50 50 - 100 100 - 110サンプリング流量 L/min
1 - 3 3 - 100 100 - 110光源
レーザーダイオード 半導体レーザーゼロカウントレベル count/分
0 - 0.01 0.01 - 0.02 0.02 - 0.4使用環境温度 ℃
0 - 5 5 - 10 10 - 35 35 - 40使用環境湿度 %RH
20 - 30 30 - 70 70 - 90 90 - 100
