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気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series-株式会社リンテック

全型番で同じ値の指標

使用環境温度/相対湿度

20~40℃/80%以下

使用条件

連続運転

電源電圧 (単相)

・AC100V 50/60Hz ・AC200V 50/60Hz

絶縁抵抗

500Vメガにて10MΩ以上

ユーテリティ (バルブ駆動Air)

0.5~0.6MPa

ユーテリティ (キャリアガス・圧送ガス用N2)

0.05~0.3MPa

ユーテリティ (電源)

・100VAC ・200VAC

配管/筐体 (配管)

BA管

配管/筐体 (液面計)

フロート式

配管/筐体 (タンク)

500CC/1L/2L/5L

温度調節器

気化器/配管ライン2点独立制御

操作・設定

タッチパネル

この製品について

■製品説明

LVSシリーズは、液体マスフローコントローラと気化器を使用した液体気化供給器をコンパクトにまとめ、流体計測制御機器メーカーとして液体の物性に応じたフローシステムにより、バブリングユニットより安定的に供給でき、ベーキングユニットより大流量で常圧にも対応可能な装置です。

■特長

・各種ユーティリティに接続するだけで手軽に液体気化供給が可能なオールインワン設計 ・液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能 ・メンテナンスを考えたクリーンな構造 ・安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載 ・液体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能

■用途

LVSシリーズは、主に各種液体材料の研究開発用途で多く使われています。CVD (chemical vapor deposition) で成膜プロセスに用いる液体材料の気化供給を行います。

■液体材料実績例

C2H5OH/C6H14/C6H14/C6H14O3/C14H32OSi/ (CH3CH2) 2NH/H2O/HMDS/HMDSO/SiCl4/TEOS/TiCl4/アクリル酸

  • 型番

    LVS Series (標準仕様)

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気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series LVS Series (標準仕様)の性能表

商品画像 価格 (税抜) 使用環境温度/相対湿度 使用条件 電源電圧 (単相) 絶縁抵抗 ユーテリティ (バルブ駆動Air) ユーテリティ (キャリアガス・圧送ガス用N2) ユーテリティ (電源) 配管/筐体 (配管) 配管/筐体 (液面計) 配管/筐体 (タンク) 温度調節器 操作・設定
気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series-品番-LVS Series (標準仕様) 要見積もり 20~40℃/80%以下 連続運転 ・AC100V 50/60Hz
・AC200V 50/60Hz
500Vメガにて10MΩ以上 0.5~0.6MPa 0.05~0.3MPa ・100VAC
・200VAC
BA管 フロート式 500CC/1L/2L/5L 気化器/配管ライン2点独立制御 タッチパネル

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使用用途

#医薬品充填 #化粧品製造 #食品添加 #接着剤供給 #潤滑剤塗布 #塗料供給 #樹脂注入 #半導体製造 #電池材料供給 #インク供給

排出量 ml/min

0 - 20 20 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000

供給ホッパ容量 L

0 - 5 5 - 15 15 - 30 30 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500

ターンテーブル駆動モータ W

0.4 15 70

排出段数 段

1 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 10

圧力 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30

供給能力 kg/h

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 300

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県

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