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液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能マスフローコントローラ-株式会社リンテック

全型番で同じ値の指標

流量 (C2H5OH換算)

0.1~1.0g/min

流量 (H2O換算)

0.1~0.2g/min

流量制御範囲

5~100%F.S.

バルブ動作

ノーマリオープン

精度

±1.0%F.S.

応答時間

3sec

アナログ流量設定信号

0.25~5VDC

アナログ流量出力信号

0~5VDC

必要差圧

50~300kPa

耐圧

1MPa (G)

使用保証温度

15~35℃ 0~80%RH

リークレート

1×10-11Pa・m3/sec He

接液部材質

SUS316L,PCTFE

シール材

Au

所要電源

・+15VDC±3% 100mA ・-15VDC±3% 50mA

取付姿勢

自由

アナログコネクタ

Dsub 9pin

デジタルインターフェイス

モジュラジャックRJ45/RS-485

バルブ方式

ピエゾアクチュエータ

重量

1.0kg

この製品について

■製品説明

液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラ。 熱式の液体用流量センサと高精度のピエゾアクチュエータバルブを一体化した液体用マスフローコントローラ。 液体質量流量センサで現在の質量流量を測定、ピエゾバルブの開度をフィードバック制御する事で、高速で液体質量流量の自動制御が可能。

■特徴

・微小流量液体制御 ・精度±1%F.S. ・クリーン (パーティクル保証) ・RS-485通信 使用例

■脈動のない微小流量の連続制御

定量ポンプは一定量の液体を流せる便利な製品ですが、可動部がある為脈動が発生します。リンテックの液体マスフローコントローラは適切な圧力で一定の圧力で加圧されていれば、脈動のない安定した流量制御が可能です。

■真空装置への液体制御

二次側が真空条件では、容積式では液体が抜けてしまい流量制御が難しくなります。コントロールバルブと質量流量センサが一体化した液体マスフローコントローラ (LC-3000シリーズ) は、適切な差圧条件であれば二次圧に関わらず流量制御が可能です。

■シリーズ概要

LC-3000Lシリーズは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。

■シリーズ特徴

・ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化 ・デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備 ・リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ・マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現 ・デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ ・高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用 ・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上 ・金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作

  • 型番

    LC-3102L

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液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能マスフローコントローラ LC-3102Lの性能表

商品画像 価格 (税抜) 流量 (C2H5OH換算) 流量 (H2O換算) 流量制御範囲 バルブ動作 精度 応答時間 アナログ流量設定信号 アナログ流量出力信号 必要差圧 耐圧 使用保証温度 リークレート 接液部材質 シール材 所要電源 取付姿勢 アナログコネクタ デジタルインターフェイス バルブ方式 重量
液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能マスフローコントローラ-品番-LC-3102L 要見積もり 0.1~1.0g/min 0.1~0.2g/min 5~100%F.S. ノーマリオープン ±1.0%F.S. 3sec 0.25~5VDC 0~5VDC 50~300kPa 1MPa (G) 15~35℃ 0~80%RH 1×10-11Pa・m3/sec He SUS316L,PCTFE Au ・+15VDC±3% 100mA
・-15VDC±3% 50mA
自由 Dsub 9pin モジュラジャックRJ45/RS-485 ピエゾアクチュエータ 1.0kg

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使用用途

#流量制御 #半導体製造 #医療機器 #化学反応管理 #水処理管理 #ガス供給管理

測定原理

コリオリ式 熱式 差圧式

流体種類対応

気体用 液体用 高粘度流体用

出力信号形式

アナログ出力型 デジタル出力型

流量範囲 kg/h

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 1,000 1,000 - 2,500 2,500 - 5,000

精度 %

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.25 0.25 - 0.35 0.35 - 1 1 - 1.5 1.5 - 3 3 - 5

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 45 45 - 110

使用温度範囲 ℃

-50 - 0 0 - 60 60 - 80 80 - 200 200 - 205

応答速度 ms

2 - 10 10 - 2,000

フルスケール流量 slm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 15,000

最高使用圧力 MPa

0 - 100 100 - 300

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県

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