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ハイグレードマスフローメータ 3100 MFM/流量計/気体/微少流量-コフロック株式会社

コフロック株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

16.5時間

返信の比較的早い企業

全型番で同じ値の指標

センサ方式

熱式巻線センサ

対象ガス

N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等

フルスケール流量 (N2換算)

1SCCM~20SLM

精度

±1%F.S.

再現性

±0.2%F.S.

入口最大圧

500kPa (G)

耐圧

1MPa (G)

Heリークレート

1×10^-8Pa・m3/sec以下

許容周囲温度

0~50℃

精度保証温度

15~35℃

許容保存温度

-10~60℃

許容周囲湿度

10~90%RH (結露なきこと)

接ガス部材質

SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR)

電気接続

D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠)

流量出力信号

0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上)

所要電源

+15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 100mA

継手 (本体口径)

標準:1/4SWL オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF)

重量

約800g

この製品について

■概要

微少流量に対応 (N2換算でF.S.1SCCMから)

  • 型番

    3100

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年11月8日にレビュー済み

顧客対応への満足度

非常に迅速で明快な回答でした

初回対応までの時間への満足度

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ハイグレードマスフローメータ 3100 MFM/流量計/気体/微少流量 3100の性能表

商品画像 価格 (税抜) センサ方式 対象ガス フルスケール流量 (N2換算) 精度 再現性 入口最大圧 耐圧 Heリークレート 許容周囲温度 精度保証温度 許容保存温度 許容周囲湿度 接ガス部材質 電気接続 流量出力信号 所要電源 継手 (本体口径) 重量
ハイグレードマスフローメータ 3100 MFM/流量計/気体/微少流量-品番-3100 要見積もり 熱式巻線センサ N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 1SCCM~20SLM ±1%F.S. ±0.2%F.S. 500kPa (G) 1MPa (G) 1×10^-8Pa・m3/sec以下 0~50℃ 15~35℃ -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) +15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 100mA 標準:1/4SWL
オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF)
約800g

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流量範囲 kg/h

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 1,000 1,000 - 2,500 2,500 - 5,000

精度 %

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.25 0.25 - 0.35 0.35 - 1 1 - 1.5 1.5 - 3 3 - 5

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 45 45 - 110

使用温度範囲 ℃

-50 - 0 0 - 60 60 - 80 80 - 200 200 - 205

応答速度 ms

2 - 10 10 - 2,000

フルスケール流量 slm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 15,000

最高使用圧力 MPa

0 - 100 100 - 300

センサ方式

熱式巻線センサ コリオリ式

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

16.5時間


企業レビュー

5.0

会社概要

コフロック株式会社は、1949年創業の流体計測制御機器/ガス発生装置メーカーです。
本社を京都府京田辺市に置き、国内には東京メインオフィスや大阪オフィス、名古屋オフィス、九州出張所などの営業拠点を設けています。<...

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  • 本社所在地: 京都府

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