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入力電圧
3相、180V~242V、50/60Hz
出力電圧 イグニッション
約1,100V
出力電圧 定格
800V
出力設定 ローカル
10回転ポテンションメータ
出力設定 リモート
0~10V
制御モード
定電力 (CP) /定電流 (CP) /定電圧 (CV) /選択切替
操作場所
リモート/ローカル 選択切替
出力安定度
±1％以下 (各制御モードにおいて10~100％)
冷却方式
強制空冷
保護機能
過電圧/過熱/ヒューズ断線/外部インターロック
外部I/F 出力設定
0~10V/0~定格
外部I/F 出力ON/OFF
接点クローズ/24V印加
外部I/F 出力アンサー
フォトカブラ
外部I/F 異常一括
フォトカブラ
外部I/F 異常リセット
接点クローズ/24V印加
外部I/F 出力モニター
電力・電流・電圧 各0~10V
異常放電保護 標準
異常アーク発生時一定時間出力停止、自動復帰
異常放電保護 オプション
低アーク処理
出力電力Po (kW)
20
最大電流lr (A)
50
幅 (mm)
480
高さ (mm)
249
奥行 (mm)
650
型番
HSPN-20シリーズ
DCスパッタリング電源 HSPN-20取扱企業
有限会社エイチ・エス・エレクトリックカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 入力電圧 | 出力電圧 イグニッション | 出力電圧 定格 | 出力設定 ローカル | 出力設定 リモート | 制御モード | 操作場所 | 出力安定度 | 冷却方式 | 保護機能 | 外部I/F 出力設定 | 外部I/F 出力ON/OFF | 外部I/F 出力アンサー | 外部I/F 異常一括 | 外部I/F 異常リセット | 外部I/F 出力モニター | 異常放電保護 標準 | 異常放電保護 オプション | 出力電力Po (kW) | 最大電流lr (A) | 幅 (mm) | 高さ (mm) | 奥行 (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 3相、180V~242V、50/60Hz | 約1,100V | 800V | 10回転ポテンションメータ | 0~10V | 定電力 (CP) /定電流 (CP) /定電圧 (CV) /選択切替 | リモート/ローカル 選択切替 | ±1％以下 (各制御モードにおいて10~100％) | 強制空冷 | 過電圧/過熱/ヒューズ断線/外部インターロック | 0~10V/0~定格 | 接点クローズ/24V印加 | フォトカブラ | フォトカブラ | 接点クローズ/24V印加 | 電力・電流・電圧 各0~10V | 異常アーク発生時一定時間出力停止、自動復帰 | 低アーク処理 | 20 | 50 | 480 | 249 | 650 |
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出力電圧 V
-25 - 0 0 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 25,000出力電流 A
-800 - -100 -100 - 0 0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 800入力電圧 V
10 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 450リップルノイズ mV
0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 600効率 %
70 - 75 75 - 85 85 - 90 90 - 95使用温度範囲 ℃
-30 - -10 -10 - 0 0 - 40 40 - 50 50 - 85負荷変動 mV
0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 200 200 - 500 500 - 1,700冷却方式
強制空冷 自然冷却
