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加熱範囲 (坩堝内寸)
Φ2~Φ6inch,深さ~100mm (深さ都度ご相談)
ヒーター
C/Cコンポジット, 又はタングステン
断熱材
グラファイト, W/Moシールド・アルミナ
熱電対
Cタイプ熱電対 (素線タイプ)
真空系
ロータリーポンプ 3m3/hr, ワイドレンジ真空計
電源 (2系統)
200V三相 50A NFB, 100V AC
冷却水
8l/min @20℃, 0.4Mpa
その他ユーティリティ
ベント・プロセスガス (0.4Mpa) , 圧空 (0.6Mpa)
PLC自動制御
真空/パージ x 3cycle) ・ベント自動シーケンス
インターロック
・プロセスガス・ベントガス異常 (ガス圧低下) ・冷却水異常 (水圧低下、断水) ・ヒーター, チャンバー過昇温 ・熱電対断線 ・チャンバー開閉
タッチパネル
・メイン画面:Pump, Vent, Open/Close, Gas In/Out ・PLOT画面:温度・圧力・流量グラフ表示、CSV出力
型番
C/Cコンポジットヒーター (Φ2~Φ6inch)取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 加熱範囲 (坩堝内寸) | ヒーター | 断熱材 | 熱電対 | 真空系 | 電源 (2系統) | 冷却水 | その他ユーティリティ | PLC自動制御 | インターロック | タッチパネル |
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要見積もり | Φ2~Φ6inch,深さ~100mm (深さ都度ご相談) | C/Cコンポジット, 又はタングステン | グラファイト, W/Moシールド・アルミナ | Cタイプ熱電対 (素線タイプ) | ロータリーポンプ 3m3/hr, ワイドレンジ真空計 | 200V三相 50A NFB, 100V AC | 8l/min @20℃, 0.4Mpa | ベント・プロセスガス (0.4Mpa) , 圧空 (0.6Mpa) | 真空/パージ x 3cycle) ・ベント自動シーケンス |
・プロセスガス・ベントガス異常 (ガス圧低下) ・冷却水異常 (水圧低下、断水) ・ヒーター, チャンバー過昇温 ・熱電対断線 ・チャンバー開閉 |
・メイン画面:Pump, Vent, Open/Close, Gas In/Out ・PLOT画面:温度・圧力・流量グラフ表示、CSV出力 |
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