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ガラス基板対応3D計測装置 NSAT Series SR&ABF Thickness Module-ニデックアドバンステクノロジー株式会社

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WSI<0.5nm

繰り返し精度

<1um3σ,Measuring Samples (SRandABF)

レンズ TubeLens

×2.0

レンズ NIRLens

×20

この製品について

次世代基板対応、高速・高精度3次元計測装置

■特徴

・深さ5μm、LineSpace2/2対応 ・透過測定法によるSR・ABFの厚さ測定 ・ガラスコア対応可能な技術力と信頼

■測定機能

・Trace ・Pad ・Via ・Anchor ・Overlay ・Film

  • 型番

    SR&ABF Thickness Module

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ガラス基板対応3D計測装置 NSAT Series SR&ABF Thickness Module SR&ABF Thickness Moduleの性能表

商品画像 価格 (税抜) スキャンスピード スキャンレンジ 解像度 繰り返し精度 レンズ TubeLens レンズ NIRLens
ガラス基板対応3D計測装置 NSAT Series SR&ABF Thickness Module-品番-SR&ABF Thickness Module 要見積もり 48.9um/s ≤270um WSI<0.5nm <1um3σ,Measuring Samples (SRandABF) ×2.0 ×20

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光学分解能 μm

2 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 25

基板厚み mm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6 6 - 7 7 - 8

カメラ画素数 画素

7,000 - 16,000 16,000 - 17,000

ワーク搬送方式

手動 自動 手動/自動 ロール

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本電産リード株式会社は、半導体パッケージやプリント基板の検査装置などの製造開発・販売を主力事業とする企業です。 検査機器の心臓部を担う高性能ICとソフトウェアや、細かい単位で加工・組立を行う装置ハードウェア、さらに...

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  • 本社所在地: 京都府

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