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ガラス基板対応3D計測装置 NSAT Series 3D Head-ニデックアドバンステクノロジー株式会社

3D Head | ガラス基板対応3D計測装置 NSAT Series 3D Head
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Max.510mm×610mm

スキャンスピード

Max.65um/s

スキャンレンジ

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解像度

WSI<0.5nm,PSI<0.1nm,FastCSI<1.5nm

繰り返し精度

≤0.1%@1σ (VLSI7.969um±0.065,Repeat16times)

照明

White LED Illumination

F.O.V.Turret

×0.55,×0.75,×1.0,×1.5,×2.0 (4FOVLensAvailable)

この製品について

次世代基板対応、高速・高精度3次元計測装置

■特徴

・深さ5μm、LineSpace2/2対応 ・透過測定法によるSR・ABFの厚さ測定 ・ガラスコア対応可能な技術力と信頼

■測定機能

・Trace ・Pad ・Via ・Anchor ・Overlay ・Film

  • 型番

    3D Head

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ガラス基板対応3D計測装置 NSAT Series 3D Head 3D Headの性能表

商品画像 価格 (税抜) パネルサイズ スキャンスピード スキャンレンジ 解像度 繰り返し精度 照明 F.O.V.Turret
ガラス基板対応3D計測装置 NSAT Series 3D Head-品番-3D Head 要見積もり Max.510mm×610mm Max.65um/s ≤270um WSI<0.5nm,PSI<0.1nm,FastCSI<1.5nm ≤0.1%@1σ (VLSI7.969um±0.065,Repeat16times) White LED Illumination ×0.55,×0.75,×1.0,×1.5,×2.0 (4FOVLensAvailable)

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使用用途

#電気検査 #外観検査 #欠陥検出 #計測測定 #トレーサビリティ #インライン検査 #ファンクションテスト #X線検査 #両面検査 #環境耐久試験

光学分解能 μm

2 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 25

基板厚み mm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6 6 - 7 7 - 8

カメラ画素数 画素

7,000 - 16,000 16,000 - 17,000

ワーク搬送方式

手動 自動 手動/自動 ロール

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日本電産リード株式会社は、半導体パッケージやプリント基板の検査装置などの製造開発・販売を主力事業とする企業です。 検査機器の心臓部を担う高性能ICとソフトウェアや、細かい単位で加工・組立を行う装置ハードウェア、さらに...

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