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返答率
100.0%
返答時間
79.8時間
ガス種類
ArF
波長
193nm
最大パルスエネルギー
150mJ
平均出力
20W
最大繰返周波数
150Hz
安定度 (σ)
3%
パルス幅 (FWHM)
約20ns
ビームサイズ (V×H)
14×5mm
拡がり角 (V×H)
3×1mrad
重量
200kg
冷却
水冷
電源
220V/50Hz/14A/単層
寸法 (L×W×H)
1,300×400×900mm
型番
PLD150型エキシマレーザ ArFシリーズ
PLD150型エキシマレーザ取扱企業
株式会社プロフィテットカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ガス種類 | 波長 | 最大パルスエネルギー | 平均出力 | 最大繰返周波数 | 安定度 (σ) | パルス幅 (FWHM) | ビームサイズ (V×H) | 拡がり角 (V×H) | 重量 | 冷却 | 電源 | 寸法 (L×W×H) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | ArF | 193nm | 150mJ | 20W | 150Hz | 3% | 約20ns | 14×5mm | 3×1mrad | 200kg | 水冷 | 220V/50Hz/14A/単層 | 1,300×400×900mm |
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波長 nm
300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 700 700 - 800 800 - 900 900 - 1,000 1,000 - 1,100ビーム径 mm
0 - 1 1 - 3パルス幅 ns
0 - 1 1 - 10 10 - 200パルスエネルギー mJ
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 4,000繰り返し周波数 kHz
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 1,000,000電源電圧 V
3 - 5 5 - 12 12 - 30 30 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 250使用温度 ℃
-10 - 0 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50
