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高精度複屈折位相差測定装置 Exicor ATシリーズ-株式会社東京インスツルメンツ

Exicor AT (高感度モデル) | 高精度複屈折位相差測定装置 Exicor ATシリーズ
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光源

HeNeレーザー

波長

632.8nm

位相差測定範囲

0~120nm以上

位相差分解能

0.001nm

位相差繰返し精度

±0.008nm

進相軸分解能

0.01度

進相軸繰返し精度

±0.05度@5nm

測定スポット径

1mm

測定時間

<1秒/点

Scan In Motion追加

最速100点/秒

この製品について

■概要

複屈折位相差測定装置Exicor®は、半導体露光装置や液晶ディスプレイ分野で世界的に評価されています。僅かな歪みも許されないフォトマスク基板、露光装置用レンズ硝材やLCD用ガラス基板など一般的な複屈折測定装置では検出できない歪み (=リタデーション) と主軸方位を瞬時に測定します。 もちろん、位相差フィルム等の偏光子素子のリタデーションも高精度に評価できます。複屈折分布はXYステージを使ってマッピングしますが、最新のScan In Motion™技術によって短時間に高密度なマッピング測定が可能です。 ステージは様々な大きさのサンプルに対応します。測定波長は極紫外から近赤外まで選択できます。

■極低レベル複屈折測定

光弾性変調器 (PEM) を採用し、1nm以下の極低リタデーションの位相差分布の測定が可能。わずかな歪みをも検出します。また、HINDS社が新開発した新型ロックインアンプによって、従来機を大きく超える高速測定を実現。リタデーション分解能0.001nm、測定時間<10ミリ秒を達成しています。

■用途に合わせた装置選択

サンプルサイズに合わせたマッピングステージサイズを提案します。また、標準のHeNeレーザーだけではなく、LED光源やキセノンランプによる多波長測定、LDLS光源を使った波長193、248nmによる測定にも対応します。その他にも、斜入射測定や反射測定など特注システムの構築も可能です。

■高速マッピング測定 Scan In Motion™

従来のマッピング測定は、ステージ移動と測定を繰り返すステップスキャン測定でした。そのため、測定点数が増えると測定時間が長くなる問題がありました。Exicorの"Scan In Motion (SIM™) "はステージを移動させながら測定をおこないます。SIM機能は測定精度の低下を最小限に抑えたまま、最大100点/秒を実現しており、従来困難だった、低複屈折の高空間分解能マッピング測定を可能にしました。

■特長

・リタデーションノイズレベル：0.015 nm以下 ・DUV〜NIRの測定波長をラインナップ ・サンプルサイズに応じた各種ステージ ・最速100点 / 秒を実現する高速マッピングオプション ・球面レンズなどに対応した斜入射測定装置あり

  • 型番

    Exicor AT (高感度モデル)

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2025年7月9日にレビュー済み

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高精度複屈折位相差測定装置 Exicor ATシリーズ Exicor AT (高感度モデル) の性能表

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高精度複屈折位相差測定装置 Exicor ATシリーズ-品番-Exicor AT (高感度モデル) 要見積もり HeNeレーザー 632.8nm 0~120nm以上 0.001nm ±0.008nm 0.01度 ±0.05度@5nm 1mm <1秒/点 最速100点/秒

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使用用途

#医療研究 #環境分析 #教育機関 #血液検査 #細胞観察 #生物学実験 #微生物検査

構造タイプ

デュアルモード位相差顕微鏡 セミオートマチック型 全自動型

イメージング方式

デジタルカメラ統合型 アナログ型

目的別

細胞観察型 高精度材料観察型

機能

光学位相差技術型 偏光位相差型

総合倍率 倍

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000

対物レンズ 倍

0 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100

接眼レンズ 倍

10 - 20 20 - 30

観察法

明視野 位相差 暗視野 倒立位相差

鏡筒

三眼 単眼 双眼

重量 kg

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