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プラズマ室

φ20mm石英ガラス

マイクロ波出力電力

マイクロ波出力電力0~1kW連続可変 (2.45GHz±50MHz)

ガス流量

~60L/min

用力

AC200V3相10A 50/60Hz (配電盤接続) AC100V単相5A 50/60Hz (コンセント接続)

構成

本体 W570mm×D710mm×H1740mm、点火装置、 マグネトロン電源 (JISラックH200mm)

この製品について

■概要

電源及びプラズマ化するガスを接続するだけで実験が可能な、大気圧プラズマ実験装置です。アリオスの大気圧プラズマ実験装置は、強力な点火装置と電子発生源を装備することにより、確実な点火を実現しました。 従来の大気圧プラズマのように、点火が困難で、ガスや実験条件が制限されることがありません。RF励起、非平衡プラズマなど、仕様に合わせた大気圧プラズマ源の製作も承ります。 (装置は連続的にマイクロ波を供給しているために、プラズマは熱プラズマとなります。)

■特徴

・排ガス処理、発光微量分析、表面処理、成膜、ナノ粒子作成に最適な大気圧プラズマ装置 →ナノ粒子製造や白金担持触媒の製造に関してはマイクロ波液中プラズマによる白金担持触媒製造をご覧下さい。 ・シンプルな構成による高いメンテナンス性 ・点火装置による高いプラズマ点火性 (※ガス種などについて制約条件があります。ご相談下さい。)

■大気圧プラズマ中で使用できるガス

ガス種に関しては、窒素、アルゴン、ヘリウムでの動作を確認しております

  • 型番

    ATMP-1000

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大気圧プラズマ実験装置 ATMP-1000 ATMP-1000の性能表

商品画像 価格 (税抜) プラズマ室 マイクロ波出力電力 ガス流量 用力 構成
要見積もり φ20mm石英ガラス マイクロ波出力電力0~1kW連続可変 (2.45GHz±50MHz) ~60L/min AC200V3相10A 50/60Hz (配電盤接続)
AC100V単相5A 50/60Hz (コンセント接続)
本体 W570mm×D710mm×H1740mm、点火装置、
マグネトロン電源 (JISラックH200mm)

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使用用途

#接着塗装前処理 #精密洗浄 #濡れ性制御 #粉体処理 #半導体製造 #バイオ医療 #機能性付与 #ワイヤーボンディング #金属薄膜処理 #ダイレクト接着 #ナノマテリアル #パネル処理

電源 V

100 - 150 200 - 250

消費電力 W

200 - 500 500 - 2,000 2,000 - 3,000

質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 150

プロセスガス

アルゴン ヘリウム 空気 酸素 窒素

ガス流量 L/min

0.6 - 10 10 - 25 25 - 40 40 - 55 55 - 60

先端ノズル mm

1.6 5 20

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この商品の取り扱い会社情報

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1.8時間

会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都

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