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返答率
100.0%
返答時間
21.0時間
移動方向
XY軸
移動量
100×100mm
送り方式
精密ボールねじ
駆動用搭載モータ
5相ステッピングモータ
最小移動分解能
0.1μm (40分割時)
繰返し位置決め精度
±1μm
位置決め精度
18μm (フルストローク時)
バックラッシュ
2μm
ロストモーション
3μm
真直度 (水平・垂直)
10μm (フルストローク時)
積載可能重量
14Kg
試料台サイズ
120×120mm
外形寸法
370×390×347 (H) mm
重量
約15kg
型番
BS1010XY取扱企業
コムス株式会社カテゴリ
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干渉計の製品52点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 移動方向 | 移動量 | 送り方式 | 駆動用搭載モータ | 最小移動分解能 | 繰返し位置決め精度 | 位置決め精度 | バックラッシュ | ロストモーション | 真直度 (水平・垂直) | 積載可能重量 | 試料台サイズ | 外形寸法 | 重量 |
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要見積もり | XY軸 | 100×100mm | 精密ボールねじ | 5相ステッピングモータ | 0.1μm (40分割時) | ±1μm | 18μm (フルストローク時) | 2μm | 3μm | 10μm (フルストローク時) | 14Kg | 120×120mm | 370×390×347 (H) mm | 約15kg |
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