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ピコ秒レーザ発振器 266nmピコ秒ハイブリッドレーザ (DUV 15W) LFX-15108-スペクトロニクス株式会社

全型番で同じ値の指標

ビーム特性 波長

266nm (DUV)

ビーム特性 平均出力

>15W

ビーム特性 繰り返し周波数

800kHz~1,000kHz

ビーム特性 パルス幅

<15ps

ビーム特性 ビーム径

Φ4.5mm±0.5mm

ビーム特性 拡がり角

<0.3mrad (全角)

ビーム特性 空間モード

TEM00

ビーム特性 偏光方向

直線

レーザヘッド サイズ

W1800 x D1000 x H350mm

レーザヘッド 重量

300kg

レーザコントローラ サイズ

W430 x D435 x H213mm

レーザコントローラ 重量

23kg

FHGコントローラ サイズ

W430 x D350 x H210mm

FHGコントローラ 重量

12kg

パージガスモジュール サイズ

W430xD600xH280mm

パージガスモジュール 重量

25kg

冷却方式

レーザヘッド (水冷) 、コントローラ (空冷)

供給電源

AC200 ~ 240V±10%, 50/60Hz

消費電力

最大 3.3kW

ウォームアップ時間

コールドスタート時 60min (typ.) 、ウォームスタート時 15min (typ.)

動作保証温度

20 ~ 30 ℃ (※性能保証環境温度安定性・・・動作保証温度範囲内±1℃)

保管温度

0 ~ 40 ℃

湿度 (動作時・保管時共)

10 ~ 85%RH 結露無きこと

この製品について

■パルススプリットモード

パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。

■高速加工

マルチパルスモード (バーストモード) は、パルスを細分化しての加工が可能になります。

■特長・機能

LFX-15108は、SPX独自のLD-GS方式により実現した世界唯一の266nm15Wピコ秒レーザです。 半導体向けパッケージ基板のVia加工を始めとする更なる用途の広がりや高速加工ニーズに対応するため出力を15Wへ高め、かつ連続10,000時間以上の長期安定性及び出力保持時間を確保した機種を開発し、世界最高出力と最長出力保持期間を更新しました。 266nm波長はあらゆる材料への光吸収率が高く加工難易度の高いガラスや樹脂などの透明材料や複数の材料が混ざった複合材の加工にも適しており、今までに無い高品質な加工が可能です。

  • 型番

    LFX-15108

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ピコ秒レーザ発振器 266nmピコ秒ハイブリッドレーザ (DUV 15W) LFX-15108 LFX-15108の性能表

商品画像 価格 (税抜) ビーム特性 波長 ビーム特性 平均出力 ビーム特性 繰り返し周波数 ビーム特性 パルス幅 ビーム特性 ビーム径 ビーム特性 拡がり角 ビーム特性 空間モード ビーム特性 偏光方向 レーザヘッド サイズ レーザヘッド 重量 レーザコントローラ サイズ レーザコントローラ 重量 FHGコントローラ サイズ FHGコントローラ 重量 パージガスモジュール サイズ パージガスモジュール 重量 冷却方式 供給電源 消費電力 ウォームアップ時間 動作保証温度 保管温度 湿度 (動作時・保管時共)
ピコ秒レーザ発振器 266nmピコ秒ハイブリッドレーザ (DUV 15W) LFX-15108-品番-LFX-15108 要見積もり 266nm (DUV) >15W 800kHz~1,000kHz <15ps Φ4.5mm±0.5mm <0.3mrad (全角) TEM00 直線 W1800 x D1000 x H350mm 300kg W430 x D435 x H213mm 23kg W430 x D350 x H210mm 12kg W430xD600xH280mm 25kg レーザヘッド (水冷) 、コントローラ (空冷) AC200 ~ 240V±10%, 50/60Hz 最大 3.3kW コールドスタート時 60min (typ.) 、ウォームスタート時 15min (typ.) 20 ~ 30 ℃ (※性能保証環境温度安定性・・・動作保証温度範囲内±1℃) 0 ~ 40 ℃ 10 ~ 85%RH 結露無きこと

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使用用途

#医療機器 #通信機器 #顕微鏡装置 #検査装置 #プロジェクタ機器 #センサ機器 #光学実験 #材料分析 #バイオ分析 #表面処理 #微細加工

波長 nm

100 - 200 200 - 400 400 - 500 500 - 700 700 - 1,100 1,100 - 2,200 2,200 - 4,500 4,500 - 11,000

レーザー出力 mW

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 10,000,000

レーザークラス

クラス2 クラス2M クラス1M クラス3R クラス3B クラス4

動作温度範囲 ℃

-20 - -10 -10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40 40 - 50 50 - 60

連続動作時間 時間

1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 70 70 - 110

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会社概要

スペクトロニクス株式会社は、短波長パルスレーザー発振器の開発・制作・販売を主な事業内容とする企業です。 2004年にレーザーシステムの開発を目的として設立され、2017年から現在地に本社を移転しており、本社のほかに営業...

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  • 本社所在地: 大阪府

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