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密度 (×10^3kg/m3)
2.46
熱膨張係数 30~380℃ (×10-7/K)
38
歪点 (℃)
650
ヤング率 (GPa)
73
ボアソン比
0.2
ビッカース硬度 Hv
600
体積抵抗率 Log p 350℃ (Ω・cm)
12.0
誘電率 1MHz,RT
5.3
tan δ 1MHz,RT
0.001
透過率 λ=550nm (%)
92
屈折率 (nd) 587.6nm
1.52
耐薬品性 10%HCl (80℃-60min)
表面変質なし
耐薬品性 63BHF (20℃-3min)
表面変質なし
アルカリ酸化物含有量 (wt%)
0.1以下
As,Sb含有量 (wt%)
非含有 (0.1 未満)
表面精度 うねり
0.06μm以下 ※基準長さ 20mm (SEMI D15-1596) ※優先保障面に限る。
表面精度 表面粗さ
Ra:0.2nm ※AFM ※優先保障面に限る。
型番
OA-10G取扱企業
日本電気硝子株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 密度 (×10^3kg/m3) | 熱膨張係数 30~380℃ (×10-7/K) | 歪点 (℃) | ヤング率 (GPa) | ボアソン比 | ビッカース硬度 Hv | 体積抵抗率 Log p 350℃ (Ω・cm) | 誘電率 1MHz,RT | tan δ 1MHz,RT | 透過率 λ=550nm (%) | 屈折率 (nd) 587.6nm | 耐薬品性 10%HCl (80℃-60min) | 耐薬品性 63BHF (20℃-3min) | アルカリ酸化物含有量 (wt%) | As,Sb含有量 (wt%) | 表面精度 うねり | 表面精度 表面粗さ |
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要見積もり | 2.46 | 38 | 650 | 73 | 0.2 | 600 | 12.0 | 5.3 | 0.001 | 92 | 1.52 | 表面変質なし | 表面変質なし | 0.1以下 | 非含有 (0.1 未満) | 0.06μm以下 ※基準長さ 20mm (SEMI D15-1596) ※優先保障面に限る。 | Ra:0.2nm ※AFM ※優先保障面に限る。 |
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