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薄型パネルディスプレイ (FPD) 用ガラス 無アルカリガラス基板-日本電気硝子株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

27.0時間

全型番で同じ値の指標

密度 (×10^3kg/m3)

2.46

熱膨張係数 30~380℃ (×10-7/K)

38

歪点 (℃)

650

ヤング率 (GPa)

73

ボアソン比

0.2

ビッカース硬度 Hv

600

体積抵抗率 Log p 350℃ (Ω・cm)

12.0

誘電率 1MHz,RT

5.3

tan δ 1MHz,RT

0.001

透過率 λ=550nm (%)

92

屈折率 (nd) 587.6nm

1.52

耐薬品性 10%HCl (80℃-60min)

表面変質なし

耐薬品性 63BHF (20℃-3min)

表面変質なし

アルカリ酸化物含有量 (wt%)

0.1以下

As,Sb含有量 (wt%)

非含有 (0.1 未満)

表面精度 うねり

0.06μm以下 ※基準長さ 20mm (SEMI D15-1596) ※優先保障面に限る。

表面精度 表面粗さ

Ra:0.2nm ※AFM ※優先保障面に限る。

この製品について

無アルカリガラス基板であるOA-10Gは、オーバーフロー法で成形された板ガラスで表面が非常に平滑です。環境負荷物質であるAs、Sbを含有しない環境に配慮したガラスで、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイの基板として幅広く使用されています。 特長

■表面平滑性

オーバーフロー法で成形された板ガラスですので、表面が非常に平滑です。

■無アルカリガラス

アルカリ酸化物は0.1%以下です。アモルファス・シリコンや多結晶シリコンの薄膜特性を損ないません。

■熱的寸法安定性

成膜工程やTFT形成プロセスなどで高い熱的寸法安定性を示します。これはガラスの歪点が高く、熱膨張係数が低いためです。

■化学的表面安定性

半導体プロセス、TFT形成プロセスで用いられる薬液に対して安定です。白濁することなく、平滑な表面を保ちます。

■グリーンガラス

環境負荷化学物質であるAs、Sbを含有しない、環境に配慮したガラスです。

■表面欠陥 (キズ・汚れ) 外観検査にて認められないこと。

・Aグレード:1万ルクス ・Bグレード:1,500ルクス ※優先保障面に限る。

■加工欠陥 (キズ・汚れ)

・欠陥の大きさ:>1.0mm、許容個数 0個 ・欠陥の大きさ:≦1.0mm、無視 ※進行性の欠け、割れについては、認められないこと。 ※検査条件:暗室内 1,500ルクス下外観検査

  • 型番

    OA-10G

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薄型パネルディスプレイ (FPD) 用ガラス 無アルカリガラス基板 OA-10Gの性能表

商品画像 価格 (税抜) 密度 (×10^3kg/m3) 熱膨張係数 30~380℃ (×10-7/K) 歪点 (℃) ヤング率 (GPa) ボアソン比 ビッカース硬度 Hv 体積抵抗率 Log p 350℃ (Ω・cm) 誘電率 1MHz,RT tan δ 1MHz,RT 透過率 λ=550nm (%) 屈折率 (nd) 587.6nm 耐薬品性 10%HCl (80℃-60min) 耐薬品性 63BHF (20℃-3min) アルカリ酸化物含有量 (wt%) As,Sb含有量 (wt%) 表面精度 うねり 表面精度 表面粗さ
薄型パネルディスプレイ (FPD) 用ガラス 無アルカリガラス基板-品番-OA-10G 要見積もり 2.46 38 650 73 0.2 600 12.0 5.3 0.001 92 1.52 表面変質なし 表面変質なし 0.1以下 非含有 (0.1 未満) 0.06μm以下 ※基準長さ 20mm (SEMI D15-1596) ※優先保障面に限る。 Ra:0.2nm ※AFM ※優先保障面に限る。

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使用用途

#電子デバイス #液晶パネル #有機EL #太陽電池 #センサー基板 #光学部品 #半導体工程 #微細加工 #バイオチップ #研究開発

厚さ mm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

基板外形 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 500

材質

カバーガラス ガラス スライドガラス ソーダガラス 合成石英ガラス 石英ガラス 無アルカリガラス 溶融石英ガラス 硼珪酸ガラス

表面ラフネス nm

0 - 0.2 0.2 - 0.3

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

27.0時間

会社概要

日本電気硝子株式会社は、特殊ガラス製品の製造・販売およびガラス製造機械の製作・販売を手掛ける企業です。 製造しているガラス製品は多岐に渡り、自動車部品としてのガラスファイバをはじめとして、情報通信、医療、エネルギー...

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