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エアーベアリングリニアステージ LS100-株式会社フィジックステクノロジー

株式会社フィジックステクノロジーの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

65.4時間

全型番で同じ値の指標

移動距離

100mm

耐荷重

65kg

精度

±0.3μm

繰り返し精度

±0.1μm

ピッチング

±4μrad

ローリング

±4μrad

ヨーイング

±4μrad

この製品について

フィジックステクノロジーでは、SmarAct社の小型ピエゾステージとの組み合わせに最適なエアーベアリングステージをご提供しております。特にエアーベアリング回転ステージは偏芯エラーが少なく、煩雑な回転による誤差の修正を少なく制御できますので、制御時間の短縮につなげることができます。

■エアーベアリングリニアステージ

エアーベアリングリニアステージには豊富なラインアップをご用意しております。ステージを組み合わせたガントリーステージやXYZ軸のカスタマイズシステムもご提供しております。

  • 型番

    LS100

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エアーベアリングリニアステージ LS100 LS100の性能表

商品画像 価格 (税抜) 移動距離 耐荷重 精度 繰り返し精度 ピッチング ローリング ヨーイング
エアーベアリングリニアステージ LS100-品番-LS100 要見積もり 100mm 65kg ±0.3μm ±0.1μm ±4μrad ±4μrad ±4μrad

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県

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