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測定対象
光学平面ミラー (反射率80%以上推奨)
ワーキングディスタンス
50±0.5mm
測定項目
チルト (ΘX,ΘY) 、変位 (Z)
測定範囲
±60分 (円形範囲) 、±1.5mm
Repeatability
0.009分、0.15μm
Linearity
±0.2% of F.S. (±0.24分相当) ±0.075% of F.S. (±2.25μm相当)
デジタル出力 / 出力更新レート
RS-232C規格 (準拠) / 1,000回/秒
波長
660±10nm
出力
クラス1
ビーム径
φ0.2mm以下
信号出力
RS-232C規格 (準拠)
出力更新レート
1,000回/秒
外形寸法 (突起部除く)
W100×D80×H35mm
質量
0.33kg
型番
SH-3100取扱企業
株式会社カツラ・オプト・システムズカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 測定対象 | ワーキングディスタンス | 測定項目 | 測定範囲 | Repeatability | Linearity | デジタル出力 / 出力更新レート | 波長 | 出力 | ビーム径 | 信号出力 | 出力更新レート | 外形寸法 (突起部除く) | 質量 |
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要見積もり | 光学平面ミラー (反射率80%以上推奨) | 50±0.5mm | チルト (ΘX,ΘY) 、変位 (Z) | ±60分 (円形範囲) 、±1.5mm | 0.009分、0.15μm |
±0.2% of F.S. (±0.24分相当) ±0.075% of F.S. (±2.25μm相当) |
RS-232C規格 (準拠) / 1,000回/秒 | 660±10nm | クラス1 | φ0.2mm以下 | RS-232C規格 (準拠) | 1,000回/秒 | W100×D80×H35mm | 0.33kg |
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