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3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100-株式会社カツラ・オプト・システムズ
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全型番で同じ値の指標

測定対象

光学平面ミラー (反射率80%以上推奨)

ワーキングディスタンス

50±0.5mm

測定項目

チルト (ΘX,ΘY) 、変位 (Z)

測定範囲

±60分 (円形範囲) 、±1.5mm

Repeatability

0.009分、0.15μm

Linearity

±0.2% of F.S. (±0.24分相当) ±0.075% of F.S. (±2.25μm相当)

デジタル出力 / 出力更新レート

RS-232C規格 (準拠) / 1,000回/秒

波長

660±10nm

出力

クラス1

ビーム径

φ0.2mm以下

信号出力

RS-232C規格 (準拠)

出力更新レート

1,000回/秒

外形寸法 (突起部除く)

W100×D80×H35mm

質量

0.33kg

この製品について

■開発の背景

オートコリメータ方式の傾斜測定に加え、変位測定を同時にできないか?そんなお客様のご要望から開発した変位チルトセンサ。 この製品をセンサヘッドとプロセッサユニットを一体化、さらに軽量小型化することで装置への組み込みを簡単にした使いやすい製品を開発いたしました。

■特長

1. 三角測量とオートコリメータの測定方式を一つに 2. センサとプロセッサ一体型さらに高速測定(1K データ/s) 3. 変位と傾斜の同時測定【特許第5330114号】

■アプリケーション事例

・製造工程中のウェーハの反りの判定 ・プロジェクターのレンズフランジあおり、フォーカス調整 ・カメラモジュールのレンズアクチュエータ駆動時の傾斜検査

  • 型番

    SH-3100

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3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100 SH-3100の性能表

商品画像 価格 (税抜) 測定対象 ワーキングディスタンス 測定項目 測定範囲 Repeatability Linearity デジタル出力 / 出力更新レート 波長 出力 ビーム径 信号出力 出力更新レート 外形寸法 (突起部除く) 質量
3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100-品番-SH-3100 要見積もり 光学平面ミラー (反射率80%以上推奨) 50±0.5mm チルト (ΘX,ΘY) 、変位 (Z) ±60分 (円形範囲) 、±1.5mm 0.009分、0.15μm ±0.2% of F.S. (±0.24分相当)
±0.075% of F.S. (±2.25μm相当)
RS-232C規格 (準拠) / 1,000回/秒 660±10nm クラス1 φ0.2mm以下 RS-232C規格 (準拠) 1,000回/秒 W100×D80×H35mm 0.33kg

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測定範囲 度

0 - 1 1 - 90 90 - 360

測定精度 °

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 15

ビーム径 mm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 50

ワーキングディスタンス mm

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000

受光素子

4分割フォトダイオード CCD CMOS PSD イメージセンサー

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