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光学式外観自動検査装置 インスペクション・マスター SIM シリーズ SIM 2000-株式会社三明

株式会社三明の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

78.2時間

全型番で同じ値の指標

電源

AC100V 20A

測定対象

ガラス、フィルムなど透明、非透明どちらも対応 ウェハ (最大8インチφ)

測定機能

ワーク表面のキズ、異物 (パティクル、ほこり、ごみ) の検出

ワークサイズ

最大 200mm×200mm 厚さ 2mm以内

検査時間

200mm×200mmのワークで300秒/枚

顕微鏡仕様

通常モード、レビューモードを実装 検査では自動でモード切替を行います。

対物レンズ

通常モード:5 倍、10 倍 レビューモード:5 倍、10 倍、20 倍、 倍率変更􏰃レボルバ回転、自動カメラ切替、偏光切替、微分切替

照明、フィルターなど

明視野/暗視野照明切替。 微分干渉、偏光フィルター切替機能􏰃標準搭載

光源

反射 LED 暗視野 LED

検査方法

オペレータによる目視検査およびしきい値設定による判定機能 (異物のサイズ、数量など)

マッピング機能

検出した欠陥􏰃座標が管理され、 対象位置へ直接対物レンズを移動させて 観察を行うことが可能

オートステージ

X ステージ ストローク 200mm以上 Y ステージ ストローク 200mm以上 各種ワークホルダにて様々なサイズに対応

画像処理、検査データ

64 ビット CPU OS Windows7、内蔵メモリ10G HDD 2T バイト×2

検査ソフトウェア

自動マッピングソフト、画像処理ソフトおよびシステム制御 欠陥データのリスト表示、マップ表示、欠陥サイズを 5 分類まで可能、トレンド表示

表示

19インチ液晶ディスプレー

筐体

床上型、簡易防振構造、 上下開閉式手動操作窓

この製品について

SIM2000は基本的な検査機能を搭載した光学観察式外観検査装置の標準機です。1μmの微細な欠陥を検出し、顕微鏡画像で観察することができます。

■さまざまなワークに対応

ワークサイズは最大200×200mmまで対応し、透明、非透明の両方に対応しています。

■欠陥のマッピング機能

検出した欠陥はマッピングされ、その位置をマウスでクリックするだけで、顕微鏡画像の観察ができます。

■高性能の顕微鏡を搭載

微分干渉観察、偏光顕微鏡観察を標準搭載。また対物レンズは5~50倍に可変できます。

■高精度 X-Yステージ

可動範囲はX軸およびY軸それぞれ200mmで、モータによる自動位置決め制御ができます。交換式ワークホルダにより様々なサイズのワークに対応します。

■1μmサイズの欠陥を検出

キズ、異物、パティクルなどの欠陥を1μmサイズまで可視光サーチ機能で検出します。

■鮮明な画像観察が可能

観察には明視野/暗視野の切替、反射/透過照明の切替、対物レンズ倍率の選択などにより、欠陥の状態に合わせた鮮明な画像観察ができます。

■分りやすい検査ソフトウェア

画像処理で検出した欠陥データのリスト表示およびマップ表示などを行います。また欠陥をサイズに分類することも可能です。

  • 型番

    SIM 2000

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年10月3日にレビュー済み

顧客対応への満足度

非常に迅速な対応をしていただき、助かりました。

初回対応までの時間への満足度

139.60時間


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光学式外観自動検査装置 インスペクション・マスター SIM シリーズ SIM 2000 SIM 2000の性能表

商品画像 価格 (税抜) 電源 測定対象 測定機能 ワークサイズ 検査時間 顕微鏡仕様 対物レンズ 照明、フィルターなど 光源 検査方法 マッピング機能 オートステージ 画像処理、検査データ 検査ソフトウェア 表示 筐体 付属品
光学式外観自動検査装置 インスペクション・マスター SIM シリーズ SIM 2000-品番-SIM 2000 要見積もり AC100V 20A ガラス、フィルムなど透明、非透明どちらも対応
ウェハ (最大8インチφ)
ワーク表面のキズ、異物 (パティクル、ほこり、ごみ) の検出 最大 200mm×200mm
厚さ 2mm以内
200mm×200mmのワークで300秒/枚 通常モード、レビューモードを実装
検査では自動でモード切替を行います。
通常モード:5 倍、10 倍
レビューモード:5 倍、10 倍、20 倍、
倍率変更􏰃レボルバ回転、自動カメラ切替、偏光切替、微分切替
明視野/暗視野照明切替。
微分干渉、偏光フィルター切替機能􏰃標準搭載
反射 LED
暗視野 LED
オペレータによる目視検査およびしきい値設定による判定機能
(異物のサイズ、数量など)
検出した欠陥􏰃座標が管理され、
対象位置へ直接対物レンズを移動させて
観察を行うことが可能
X ステージ ストローク 200mm以上
Y ステージ ストローク 200mm以上
各種ワークホルダにて様々なサイズに対応
64 ビット CPU
OS Windows7、内蔵メモリ10G HDD 2T バイト×2
自動マッピングソフト、画像処理ソフトおよびシステム制御
欠陥データのリスト表示、マップ表示、欠陥サイズを 5 分類まで可能、トレンド表示
19インチ液晶ディスプレー 床上型、簡易防振構造、
上下開閉式手動操作窓

真空ポンプ (エアー負圧制御1系統)


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使用用途

#異物検出 #欠陥検出 #高精度検査 #高速検査 #全周全面検査 #文字印字検査

カメラ画素数 画素

0 - 10,000 10,000 - 1,000,000 1,000,000 - 5,000,000 5,000,000 - 10,000,000 10,000,000 - 20,000,000 20,000,000 - 30,000,000

検査対象サイズ mm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000

電源 V

90 - 110 110 - 220 220 - 240 240 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

78.2時間


企業レビュー

5.0

会社概要

株式会社三明は、三明電子産業株式会社、三明機工株式会社を含む三明グループの営業、企画および資本を統括するホールディングカンパニーです。 株式会社安川電機の機械工業用ロボットやコントローラーを取り扱っている他、三明オリジ...

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  • 本社所在地: 静岡県

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