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真空熱処理炉 超高温熱処理炉1-アトーテック株式会社

超高温熱処理炉1 | 真空熱処理炉 超高温熱処理炉1
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均熱帯

φ20×50H

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5×10^-6Pa

TMP

1,300L/s、280L/s

RP

650L/min，140L/min

MB

50m3/hr

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  • 型番

    超高温熱処理炉1

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真空熱処理炉 超高温熱処理炉1 超高温熱処理炉1の性能表

商品画像 価格 (税抜) max Temp 均熱帯 到達圧力 TMP RP MB
真空熱処理炉 超高温熱処理炉1-品番-超高温熱処理炉1 要見積もり 2,000℃ φ20×50H 5×10^-6Pa 1,300L/s、280L/s 650L/min，140L/min 50m3/hr

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最高温度 ℃

600 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,400

常用温度 ℃

500 - 600 600 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,200

到達真空度 Pa

0 - 0.1 0.1 - 10 10 - 100 100 - 150

加熱方式

輻射加熱 直接通電 抵抗加熱

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アトーテック株式会社

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会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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  • 本社所在地: 東京都

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