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プレス付真空熱処理炉-アトーテック株式会社

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加熱温度

常用600℃

ヒーター

モリブデン抵抗体

有効寸法

φ150×170L

均熱部

φ130×100L±10℃ (ノンプレスVaC中)

温度制御

デジタルプログラムPID方式

記録計

6打点

加圧力

全圧0.4~2TON

ミニシリンダー切換

0.035~0.2TON

加圧ストローク

40mm

到達圧力

×10^-6Torr (空状，常温)

排気系

油拡散ポンプDPF-3吋、油回転ポンプ200L／min

真空計

ピラニー、電離真空計、連成計

電気

AC200V、3φ9KVA50HZ

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    プレス付真空熱処理炉

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プレス付真空熱処理炉 プレス付真空熱処理炉の性能表

商品画像 価格 (税抜) 加熱温度 ヒーター 有効寸法 均熱部 温度制御 記録計 加圧力 ミニシリンダー切換 加圧ストローク 到達圧力 排気系 真空計 電気 冷却水 不活性ガス高純度ガス
プレス付真空熱処理炉-品番-プレス付真空熱処理炉 要見積もり 常用600℃ モリブデン抵抗体 φ150×170L φ130×100L±10℃ (ノンプレスVaC中) デジタルプログラムPID方式 6打点 全圧0.4~2TON 0.035~0.2TON 40mm ×10^-6Torr (空状，常温) 油拡散ポンプDPF-3吋、油回転ポンプ200L／min ピラニー、電離真空計、連成計 AC200V、3φ9KVA50HZ 10/min以上、2kgf/cm2G、25℃以下 99.99％以上

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常用温度 ℃

500 - 600 600 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,200

到達真空度 Pa

0 - 0.1 0.1 - 10 10 - 100 100 - 150

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会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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