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酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12-日本ドナルドソン株式会社

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ケミカルフィルタ品番

P512612

設定風量

2,600m3/hr

寸法

幅850mmx高さ1,850mmx奥行1,200mm

概算重量 (フィルター込)

600kg

操作用電源

不要

気密用圧縮空気

不要

この製品について

LITHOGUARD®-12は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効 率ケミカルフィルタシステムです。またLITHOGUARD®-12は、低濃度環境下においても高い汚染物質除去性能を発揮するため、超清浄環境が要求されるプロセスの実現や光学系部品の汚染による性能低下の防止にも最適です。

■特長

・高効率ケミカルフィルトレーション (>99%) ・長寿命 (LPSまたはBSMmaxフィルタ搭載) ・省スペース ・低コスト (Refillプログラムによるフィルターの再生利用) ・HEPAフィルタ搭載 (>99.97%) ・操作用電源および気密用の圧縮空気 (CDA,N2等) 不要 ・ガス分析用サンプリングポート付

■フィルタ構成

・LPSまたはBSMmaxケミカルフィルタ×12枚 ・HEPAフィルタ×6枚

  • 型番

    KAX007890

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酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12 KAX007890の性能表

商品画像 価格 (税抜) ケミカルフィルタ品番 設定風量 寸法 概算重量 (フィルター込) 操作用電源 気密用圧縮空気
酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12-品番-KAX007890 要見積もり P512612 2,600m3/hr 幅850mmx高さ1,850mmx奥行1,200mm 600kg 不要 不要

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使用用途

#空調 #クリーンルーム #集塵 #塗装 #医療機器 #食品機器 #半導体製造 #圧縮空気 #防塵 #脱臭 #排気処理 #環境改善

ろ過特性 μm

0 - 1 1 - 10

処理空気量 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 40,000

ハウジング材質

アルミ ステンレス

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 5

流体温度 ℃

0 - 2 2 - 61 61 - 81

質量 kg

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 60

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

1915年に米国で創業したドナルドソンは、100年以上の長きにわたり、フィルトレーションソリューションの世界的メーカーとして、実績を重ね、信頼を得ています。農機用エンジンフィルターから始まったドナルドソン製品は、ガスター...

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  • 本社所在地: 東京都
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