Gate valve T-Motion | シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion
株式会社ブイテックス

株式会社ブイテックスの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

87.5時間

全型番で同じ値の指標

リーク量

本体：4.0×10-11[pa・m3/s] 弁体：1.3×10-10[pa・m3/s]

使用温度

本体/弁体：90℃ Actuator：60℃

操作圧力

0.45-0.55MPa

対応世代

G6-G11

開閉時間

1.0　–　3.0

材質

本体：アルミニウム弁体：アルミニウムシール材：FKM ベローズ：AM350

寿命

100万回

制御ユニット

VTEXオリジナルユニット搭載

全1種類の型番を一覧でみる

この製品について

標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイテックスは豊富な経験をもとに、お客様のニーズに応じて小ロットからカスタマイズで製作が可能です。

ブイテックスの角型ゲートバルブについて
■特長・真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。
・シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です
・弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。
・標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
・弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。

■角型ゲートバルブの使用例・真空チャンバーのワーク出入口に設置します。
・角型ゲートバルブ：ワーク (ウエハーやガラス基板etc) の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。

■Gate valve T-Motion・大型化するFPD基板 (G11) に対応します。
・低振動：独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を実現。従来機種比 40% 低減。
・低パーティクル：弁体のガイド機構は全て大気側に配置縦搬送、横搬送共に無摺動を実現。
・低価格：バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格を実現。従来機種比 20% 低減 。
・あらゆる世代に BEST Match：バルブサイズ (幅X高さ) の制約無く装置設計者の思いのままに設定可能。

型番
Gate valve T-Motion

シリーズ
シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion

取扱企業
株式会社ブイテックス

カテゴリ

弁

真空ゲートバルブ

この商品に関する問題を報告する

730人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

真空ゲートバルブ注目ランキング

真空ゲートバルブの製品63点中、注目ランキング上位6点

真空アプリケーション用インラインポペットバルブ21 真空シリーズ

ロス・アジア株式会社

1420人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

真空アングルバルブ VLPシリーズ

三弘エマテック株式会社

4.8 企業レビュー

1280人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

高真空アングルバルブ自動：複動･単動［ノーマルオープン・クローズ］1FLV SERIES

三弘エマテック株式会社

4.8 企業レビュー

1000人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion

株式会社ブイテックス

730人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

高真空アングルバルブ手動 1FLV SERIES 手動/Manual

三弘エマテック株式会社

4.8 企業レビュー

660人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ Twin Rollcam Gate Valve

株式会社ブイテックス

590人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

真空ゲートバルブ注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

真空アプリケーション用インラインポペットバルブ21 真空シリーズ

ロス・アジア株式会社

1420人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

返答時間: 9.40時間

真空アングルバルブ VLPシリーズ

三弘エマテック株式会社

4.8 企業レビュー

1280人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

返答時間: 23.37時間

高真空アングルバルブ自動：複動･単動［ノーマルオープン・クローズ］1FLV SERIES

三弘エマテック株式会社

4.8 企業レビュー

1000人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

返答時間: 23.37時間

高真空アングルバルブ手動 1FLV SERIES 手動/Manual

三弘エマテック株式会社

4.8 企業レビュー

660人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

返答時間: 23.37時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion Gate valve T-Motionの性能表

商品画像	価格 (税抜)	リーク量	使用温度	操作圧力	対応世代	開閉時間	材質	寿命	制御ユニット	オプション
	要見積もり	本体：4.0×10-11[pa・m3/s] 弁体：1.3×10-10[pa・m3/s]	本体/弁体：90℃ Actuator：60℃	0.45-0.55MPa	G6-G11	1.0　–　3.0	本体：アルミニウム弁体：アルミニウムシール材：FKM ベローズ：AM350	100万回	VTEXオリジナルユニット搭載	シール材質の変更表面処理の追加