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波長
172 nm
真空フランジポート
ICF114 (JISフランジ対応可)
冷却方式
空冷
光源部サイズ
W300 x H157 x D180 mm
電源サイズ
W250 x H133 x D200 mm
電源
AC100V 50/60Hz 2A アース端子付
ガス
N2
ケーブル長 ( ランプ~電源)
0.5M
環境仕様
温度 15-30℃、湿度 20-80%、結露及び腐食、振動環境条件で無きこと。
型番
エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー取扱企業
株式会社エキシマカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 波長 | 真空フランジポート | 冷却方式 | 光源部サイズ | 電源サイズ | 電源 | ガス | ケーブル長 ( ランプ~電源) | 環境仕様 | 機能 | 機能 |
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要見積もり | 172 nm | ICF114 (JISフランジ対応可) | 空冷 | W300 x H157 x D180 mm | W250 x H133 x D200 mm | AC100V 50/60Hz 2A アース端子付 | N2 | 0.5M | 温度 15-30℃、湿度 20-80%、結露及び腐食、振動環境条件で無きこと。 |
ランプ点灯、消灯 |
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