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エキシマ光源波長
172 nm
チャンバー
SUS製 受注生産品
基板位置調整機構
0-100mm 1mm単位
真空排気系
ロータリーポンプ+オイルミストトラップ
真空計
ピラニー真空計
本体、架台
キャスター、アジャスター付
冷却
空冷
電源
1φ AC100V 50/60Hz
外形寸法 (真空ポンプ含まず)
受注生産品
型番
真空チャンバーエキシマUVシステム取扱企業
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商品画像 | 価格 (税抜) | エキシマ光源波長 | チャンバー | 基板位置調整機構 | 真空排気系 | 真空計 | 本体、架台 | 冷却 | 電源 | 外形寸法 (真空ポンプ含まず) |
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要見積もり | 172 nm | SUS製 受注生産品 | 0-100mm 1mm単位 | ロータリーポンプ+オイルミストトラップ | ピラニー真空計 | キャスター、アジャスター付 | 空冷 | 1φ AC100V 50/60Hz | 受注生産品 |
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