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圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ VAPシリーズ-アルバック販売株式会社

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呼び口径 A (B)

100A (4B) ~150A (6B)

本体材質

アルミニウム合金 (内部部品:軟鋼、ニッケルメッキ)

ガスケット材質

フッ素ゴム

ベーキング許容温度 (℃)

<60

使用圧力範囲 (Pa)

10^5~10^-5

リーク量 (Pa·m3/s)

<7.0×10^-9

許容周囲温度 (℃)

5~40

作動形式

圧縮空気作動

圧縮空気操作圧力 (MPa)

0.45~0.55

開閉信号出力

取付け可能 (オプション)

逆圧

標準で逆圧対応

この製品について

■概要

VAPシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダクタンスが大きく真空ポンプの排気性能等を最大限に発揮します。

■用途

各種真空装置の排気系ラインに

■特長

・空気の巻込みが少ない、Oリング軸シール方式 ・構造の簡易化により、メンテナンス性が良い ・アルミニウム合金の採用により軽量化を実現 ・リンク機構の採用によりコンパクト化を実現 ・低振動

  • 型番

    VAP

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

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2025年8月7日にレビュー

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回返答までの時間・1.11時間

2025年7月28日にレビュー

返信までのタイムラグがありましたが,返信内容は丁寧でした。

初回返答までの時間・69.57時間

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圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ VAPシリーズ VAPの性能表

商品画像 価格 (税抜) 呼び口径 A (B) 本体材質 ガスケット材質 ベーキング許容温度 (℃) 使用圧力範囲 (Pa) リーク量 (Pa·m3/s) 許容周囲温度 (℃) 作動形式 圧縮空気操作圧力 (MPa) 開閉信号出力 逆圧
圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ VAPシリーズ-品番-VAP 要見積もり 100A (4B) ~150A (6B) アルミニウム合金 (内部部品:軟鋼、ニッケルメッキ) フッ素ゴム <60 10^5~10^-5 <7.0×10^-9 5~40 圧縮空気作動 0.45~0.55 取付け可能 (オプション) 標準で逆圧対応

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使用用途

#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送

駆動方式

手動型 空圧型 電動型

構造形式

スロット型 ラウンド型

シール方式

メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型

呼び口径 mm

100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400

ベーキング許容温度 ℃

0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200

バルブ寿命 回

0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000

使用温度 ℃

-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150

開放コンダクタンス L/s

0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

134.9時間


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4.5

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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