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真空バルブ ゲートバルブ 大型振り子バルブ VFRシリーズ-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

評判のとても良い企業

返答率

100.0%

返答時間

134.9時間

全型番で同じ値の指標

呼び口径

Φ400mm

接続フランジ (JIS B2290相当)

VF400

開閉仕様

2位置

開閉動作原理

圧空作動式

開閉動作時間 (2位置仕様)

8s以下

弁板シール性能

逆圧対応

開放コンダクタンス

50,000L/s

使用圧力範囲

1.0×10^-5Pa~0.12MPa (abs)

ベーキング許容温度 (静止時)

バルブボディ:120℃以下 シリンダ:80℃以下

動作環境温度

10~80℃

使用流体温度

10~80℃

シリンダ供給圧空圧力

0.5~0.7MPaG

圧空供給口径

Φ8管継手

メンテナンスサイクル

10万回

取付姿勢

自由

主要部品材質

バルブボディ:AC4CH-T6 弁板:AC4CH-T6

シール部品材質

真空側:フッ素ゴム

油脂類

Z300グリス

総質量

98kg

面間寸法

150mm

この製品について

■概要

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ (ゲートバルブ) です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

■用途

・大型ディスプレイ製造装置 ・有機EL製造装置 ・その他真空装置のメインバルブ・仕切バルブ 特長

■アルバック独自の機構

・機械的なロック機構を持たない独自のシール機構と逆圧キャンセル機構を採用 ・パーティクルの発生原因となる摺動部分は極めて少ない構造 ・開閉動作時・シール時の衝撃 (振動) はほとんど無し

■優れたメンテナンス性

装置、ポンプからバルブを外さずに、バルブケースの着脱が可能 ケースを外した状態から、ボルトを1本外すことによって弁体ユニットの着脱が可能

■取付場所を選ばない設計

VFRシリーズの取付姿勢は360度自由

  • 型番

    VFR-400

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

4.5

評判がとても良い

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2025年8月7日にレビュー

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回返答までの時間・1.11時間

2025年7月28日にレビュー

返信までのタイムラグがありましたが,返信内容は丁寧でした。

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真空バルブ ゲートバルブ 大型振り子バルブ VFRシリーズ VFR-400の性能表

商品画像 価格 (税抜) 呼び口径 接続フランジ (JIS B2290相当) 開閉仕様 開閉動作原理 開閉動作時間 (2位置仕様) 弁板シール性能 開放コンダクタンス 使用圧力範囲 ベーキング許容温度 (静止時) 動作環境温度 使用流体温度 シリンダ供給圧空圧力 圧空供給口径 メンテナンスサイクル 取付姿勢 主要部品材質 シール部品材質 油脂類 総質量 面間寸法
真空バルブ ゲートバルブ 大型振り子バルブ VFRシリーズ-品番-VFR-400 要見積もり Φ400mm VF400 2位置 圧空作動式 8s以下 逆圧対応 50,000L/s 1.0×10^-5Pa~0.12MPa (abs) バルブボディ:120℃以下
シリンダ:80℃以下
10~80℃ 10~80℃ 0.5~0.7MPaG Φ8管継手 10万回 自由 バルブボディ:AC4CH-T6
弁板:AC4CH-T6
真空側:フッ素ゴム Z300グリス 98kg 150mm

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使用用途

#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送

駆動方式

手動型 空圧型 電動型

構造形式

スロット型 ラウンド型

シール方式

メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型

呼び口径 mm

100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400

ベーキング許容温度 ℃

0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200

バルブ寿命 回

0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000

使用温度 ℃

-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150

開放コンダクタンス L/s

0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

134.9時間


企業レビュー

4.5

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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