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呼び口径
Φ400mm
接続フランジ (JIS B2290相当)
VF400
開閉仕様
2位置
開閉動作原理
圧空作動式
開閉動作時間 (2位置仕様)
8s以下
弁板シール性能
逆圧対応
開放コンダクタンス
50,000L/s
使用圧力範囲
1.0×10^-5Pa~0.12MPa (abs)
ベーキング許容温度 (静止時)
バルブボディ:120℃以下 シリンダ:80℃以下
動作環境温度
10~80℃
使用流体温度
10~80℃
シリンダ供給圧空圧力
0.5~0.7MPaG
圧空供給口径
Φ8管継手
メンテナンスサイクル
10万回
取付姿勢
自由
主要部品材質
バルブボディ:AC4CH-T6 弁板:AC4CH-T6
シール部品材質
真空側:フッ素ゴム
油脂類
Z300グリス
総質量
98kg
面間寸法
150mm
型番
VFR-400取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
4.5
評判がとても良い
2025年8月7日にレビュー
フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。
初回返答までの時間・1.11時間2025年7月28日にレビュー
返信までのタイムラグがありましたが,返信内容は丁寧でした。
初回返答までの時間・69.57時間| 商品画像 | 価格 (税抜) | 呼び口径 | 接続フランジ (JIS B2290相当) | 開閉仕様 | 開閉動作原理 | 開閉動作時間 (2位置仕様) | 弁板シール性能 | 開放コンダクタンス | 使用圧力範囲 | ベーキング許容温度 (静止時) | 動作環境温度 | 使用流体温度 | シリンダ供給圧空圧力 | 圧空供給口径 | メンテナンスサイクル | 取付姿勢 | 主要部品材質 | シール部品材質 | 油脂類 | 総質量 | 面間寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
要見積もり | Φ400mm | VF400 | 2位置 | 圧空作動式 | 8s以下 | 逆圧対応 | 50,000L/s | 1.0×10^-5Pa~0.12MPa (abs) |
バルブボディ:120℃以下 シリンダ:80℃以下 |
10~80℃ | 10~80℃ | 0.5~0.7MPaG | Φ8管継手 | 10万回 | 自由 |
バルブボディ:AC4CH-T6 弁板:AC4CH-T6 |
真空側:フッ素ゴム | Z300グリス | 98kg | 150mm |
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使用用途
#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送駆動方式
手動型 空圧型 電動型構造形式
スロット型 ラウンド型シール方式
メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型呼び口径 mm
100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400ベーキング許容温度 ℃
0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200バルブ寿命 回
0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000使用温度 ℃
-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150開放コンダクタンス L/s
0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000