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返答率
100.0%
返答時間
385.4時間
使用圧力領域
大気圧~10^-6Pa
ウェーハサイズ
200mm/300mm
ウェーハ保持枚数
1枚/2枚
最大到達距離
1,050mm
回転角度
±210º
昇降ストローク
50mm
最小旋回直径
944mm 取付アームによる
可搬重量 (ハンド含む)
1kg
動作速度 伸縮
Max 2.5sec/フルストローク
動作速度 旋回
Max 3.0sec/180º
動作速度 昇降
Max 1.5sec/20mm
繰り返し位置精度 伸縮
±0.1mm
繰り返し位置精度 旋回
±0.2mm
繰り返し位置精度 昇降
±0.2mm
ティーチングペンダント
付属
コントローラ
別置き
型番
ELEC-RZ取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 使用圧力領域 | ウェーハサイズ | ウェーハ保持枚数 | 最大到達距離 | 回転角度 | 昇降ストローク | 最小旋回直径 | 可搬重量 (ハンド含む) | 動作速度 伸縮 | 動作速度 旋回 | 動作速度 昇降 | 繰り返し位置精度 伸縮 | 繰り返し位置精度 旋回 | 繰り返し位置精度 昇降 | ティーチングペンダント | コントローラ |
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要見積もり | 大気圧~10^-6Pa | 200mm/300mm | 1枚/2枚 | 1,050mm | ±210º | 50mm | 944mm 取付アームによる | 1kg | Max 2.5sec/フルストローク | Max 3.0sec/180º | Max 1.5sec/20mm | ±0.1mm | ±0.2mm | ±0.2mm | 付属 | 別置き |
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最大積載量 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000バッテリー性能稼働時間 時間
4 - 8 8 - 10 10 - 24 24 - 25定格荷重 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000モーション性能位置決め精度 mm
5 - 10 10 - 15動作時間 sec
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4重量 kg
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 700 700 - 800 800 - 900動作範囲 m²
-600 - 0 0 - 1,000 1,000 - 11,000