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各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット ELEC-RZ-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

385.4時間

全型番で同じ値の指標

使用圧力領域

大気圧~10^-6Pa

ウェーハサイズ

200mm/300mm

ウェーハ保持枚数

1枚/2枚

最大到達距離

1,050mm

回転角度

±210º

昇降ストローク

50mm

最小旋回直径

944mm 取付アームによる

可搬重量 (ハンド含む)

1kg

動作速度 伸縮

Max 2.5sec/フルストローク

動作速度 旋回

Max 3.0sec/180º

動作速度 昇降

Max 1.5sec/20mm

繰り返し位置精度 伸縮

±0.1mm

繰り返し位置精度 旋回

±0.2mm

繰り返し位置精度 昇降

±0.2mm

ティーチングペンダント

付属

コントローラ

別置き

この製品について

■概要

ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。

■用途

・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送 ・各種真空実験装置での基板搬送

■特長

・真空シールに磁性流体シールを採用し、10^-6Paまでの高真空に対応します。 ・アクチュエータを小型化することでコンパクト化を実現し、装置への搭載を容易にしました。 ・ストロークや旋回半径、ハンドの数などにより多彩なアームを用意しています。 ・操作性に優れたマルチファンクション・ディスプレイ式ティーチングペンダントを採用しています。

  • 型番

    ELEC-RZ

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各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット ELEC-RZ ELEC-RZの性能表

商品画像 価格 (税抜) 使用圧力領域 ウェーハサイズ ウェーハ保持枚数 最大到達距離 回転角度 昇降ストローク 最小旋回直径 可搬重量 (ハンド含む) 動作速度 伸縮 動作速度 旋回 動作速度 昇降 繰り返し位置精度 伸縮 繰り返し位置精度 旋回 繰り返し位置精度 昇降 ティーチングペンダント コントローラ
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット ELEC-RZ-品番-ELEC-RZ 要見積もり 大気圧~10^-6Pa 200mm/300mm 1枚/2枚 1,050mm ±210º 50mm 944mm 取付アームによる 1kg Max 2.5sec/フルストローク Max 3.0sec/180º Max 1.5sec/20mm ±0.1mm ±0.2mm ±0.2mm 付属 別置き

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最大積載量 kg

0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000

バッテリー性能稼働時間 時間

4 - 8 8 - 10 10 - 24 24 - 25

定格荷重 kg

0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000

モーション性能位置決め精度 mm

5 - 10 10 - 15

動作時間 sec

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4

重量 kg

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 700 700 - 800 800 - 900

動作範囲 m²

-600 - 0 0 - 1,000 1,000 - 11,000

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使用圧力領域大気圧~10^-6Pa 搬送ロボット

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

385.4時間

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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