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検査項目
・ダイシング・不良(ワレ・欠け)・スクラッチ・変色・異物・パターンずれ・パターン欠損・レジスト残留・塗布不良など
ソフトウェア
多機能画像検査ソフトHu-Dra
カメラ
320万画素3CMOSカラーエリアカメラ(検査)16,000画素モノクロラインカメラ(プレスキャン)
装置サイズ
1,450W×1,640D×1,800Hmmパトライト、HEPA除く
処理能力
・外観検査時間;分解能1.5μm時約2分(2inch;チップサイズ約1mm)・排除時間;3~6チップ/秒(チップサイズ、シートの種類により変動します。)・マーキング時間;インカーの場合3~4チップ/秒
対象製品(例)
各種ウェハ、パワー半導体、CMOSイメージセンサ、LED、フォトダイオード
型番
ウェハチップ外観検査装置 (ダイシング後)取扱企業
株式会社ヒューブレインカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 検査項目 | ソフトウェア | カメラ | 装置サイズ | 処理能力 | 対象製品(例) | その他 |
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要見積もり | ・ダイシング・不良(ワレ・欠け)・スクラッチ・変色・異物・パターンずれ・パターン欠損・レジスト残留・塗布不良など | 多機能画像検査ソフトHu-Dra | 320万画素3CMOSカラーエリアカメラ(検査)16,000画素モノクロラインカメラ(プレスキャン) | 1,450W×1,640D×1,800Hmmパトライト、HEPA除く | ・外観検査時間;分解能1.5μm時約2分(2inch;チップサイズ約1mm)・排除時間;3~6チップ/秒(チップサイズ、シートの種類により変動します。)・マーキング時間;インカーの場合3~4チップ/秒 | 各種ウェハ、パワー半導体、CMOSイメージセンサ、LED、フォトダイオード |
レンズ、照明はワークと検査内容により、選定する場合があります。 |
外観検査装置をフィルターから探すことができます
カメラ画素数 画素
0 - 10,000 10,000 - 1,000,000 1,000,000 - 5,000,000 5,000,000 - 10,000,000 10,000,000 - 20,000,000 20,000,000 - 30,000,000検査対象サイズ mm
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000分解能 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000電源 V
90 - 110 110 - 220 220 - 240 240 - 260