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返答率
100.0%
返答時間
29.2時間
測定方法
回転位相子法 (RQ法)
光源
0.8mw He-Neレーザー (λ/632.8nm)
ビーム径
0.8mmФ
入射角
固定 (通常70度)
サンプルステージ
自動 θ-Yステージ、標準にて Ф160mmまで (全面自動測定可) 、モータドライブ Z軸、手動チルト機構付き
測定精度
△/±0.01°ψ/±0.01°[但しSiO2 (1000Å) /Si 測定時]
測定時間
Min0.05秒 (通常2秒)
コントロールステーション
Dos/V パソコン
寸法
300×400×450 (本体)
型番
計測器・測定システム エリプソメーターシリーズ
計測器・測定システム エリプソメーター取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 測定方法 | 光源 | ビーム径 | 入射角 | サンプルステージ | 測定精度 | 測定時間 | コントロールステーション | 寸法 |
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要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 0.8mw He-Neレーザー (λ/632.8nm) | 0.8mmФ | 固定 (通常70度) | 自動 θ-Yステージ、標準にて Ф160mmまで (全面自動測定可) 、モータドライブ Z軸、手動チルト機構付き | △/±0.01°ψ/±0.01°[但しSiO2 (1000Å) /Si 測定時] | Min0.05秒 (通常2秒) | Dos/V パソコン | 300×400×450 (本体) |
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